Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPN #148641 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN est un outil utilisé dans la fabrication de circuits intégrés (IC). C'est un type de réacteur à plasma utilisé pour former des films diélectriques sur des plaquettes de silicium. AMAT DPN se compose de quatre composantes ; une chambre à vide, un générateur de plasma radiofréquence (RF), une électrode et un contrôleur de recettes. La chambre à vide est une enceinte cylindrique dont le diamètre intérieur est typiquement compris entre 0,35 et 2,13 mètres. Il est réalisé en acier inoxydable et typiquement scellé sous vide avec une pompe de diffusion d'huile. Il maintient le substrat, typiquement une plaquette de silicium, lors du processus de dépôt. Le générateur de plasma RF est utilisé pour générer les ions et électrons chargés positivement nécessaires au processus de dépôt. Ce générateur RF produit une forme d'onde haute fréquence (HFRF) qui est fournie à une antenne qui est insérée dans la chambre à vide. Cette forme d'onde est modulée pour diriger le flux de particules ionisées qui sont utilisées pour déposer le matériau désiré sur la plaquette. Le générateur est alimenté par quelques composants différents dont une alimentation haute tension, un générateur de forme d'onde, et un moniteur de forme d'onde. L'électrode est montée à l'intérieur de la chambre à vide et est en aluminium, tungstène ou cuivre. La forme et la taille de l'électrode varient selon le type de dépôt effectué. Par exemple, une électrode plane est typiquement utilisée pour des applications de diffusion, tandis qu'une électrode annulaire est utilisée pour des applications de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le contrôleur de recette est un système informatique qui contrôle les paramètres utilisés pendant le processus de dépôt. Cela comprend le moment et l'intensité de la forme d'onde HFRF, le niveau de puissance et la température de l'électrode, la température et la pression dans la chambre à vide, et la fréquence des impulsions du dépôt. Il est chargé de veiller à ce que le processus de dépôt soit effectué avec précision et conformément aux exigences du client. En conclusion, APPLIED MATERIALS DPN est un outil utilisé dans la fabrication de circuits intégrés. Il est composé de quatre composantes ; une chambre à vide, un générateur de plasma RF, une électrode et un contrôleur de recettes. DPN produit des ions et des électrons chargés positivement qui sont utilisés pour déposer un film diélectrique sur un substrat, typiquement une plaquette de silicium. A l'aide du contrôleur de recette, le procédé de dépôt est précisément contrôlé pour réaliser une couche de matériau sur la plaquette conformément aux exigences du client.