Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DxZ #9218980 à vendre en France

ID: 9218980
System (3) Chambers Wide body.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur DxZ est un outil avancé de gravure par plasma d'oxyde métallique spécialement conçu pour la production de structures métallurgiques précises et précises. Le réacteur AMAT DxZ est conçu pour assurer une gravure plasma efficace et haute densité de matériaux tels que l'aluminium, le cuivre et d'autres oxydes pour la production de structures métallurgiques complexes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur DxZ utilise l'application d'une tension continue (DC) sur un plasma à base d'hydrogène à basse pression. La puissance continue est générée par un oscillateur qui couple cycliquement les ondes haute fréquence (HF) et basse fréquence (LF), ce qui permet d'ajuster la taille, la forme et la densité de la gravure tout en maintenant une distribution très uniforme des ions et des espèces radicalaires tout au long du processus. La combinaison des ondes HF et LF donne lieu à un processus de gravure efficace avec une uniformité de gravure améliorée et un taux de gravure plus élevé que ce qui pourrait être obtenu avec les processus à fréquence unique. Le réacteur DxZ est contrôlé par un système avancé de contrôle des processus qui utilise des signaux de rétroaction pour ajuster les niveaux de puissance et les débits de gaz afin d'améliorer le contrôle des matériaux gravés. La rétroaction fournit des données en temps réel sur la nature chimique du processus de gravure et permet de s'assurer que la structure métallurgique souhaitée est atteinte à chaque fois. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor peut également être automatisé pour fournir des gravures entièrement répétables sur des échantillons uniformes. AMAT DxZ Reactor est capable de graver une variété de matériaux, y compris des empilements monocouches ou multicouches, des structures perforées et des micro-caractéristiques, permettant la production de motifs et de structures complexes. En plus des opérations de gravure, APPLIED MATERIALS DxZ Reactor est également capable d'effectuer des opérations de passivation, de dépôt en couches minces et de transfert de motifs. Ces capacités font du réacteur DxZ un outil précieux pour la recherche métallurgique et la production de microstructures métallurgiques. Les outils d'analyse, adaptés à l'éducation spécifique aux éléments, tels que l'imagerie SEM et la spectroscopie EDX, peuvent également être utilisés pour analyser les échantillons gravés X-Y. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS DxZ Reactor est un outil avancé de gravure d'oxyde métallique spécialement conçu pour la production de structures métallurgiques complexes. Le réacteur AMAT DxZ utilise une combinaison d'ondes HF et LF pour obtenir une vitesse de gravure efficace avec une uniformité améliorée. Le réacteur est contrôlé par un système avancé de contrôle des procédés et peut également être automatisé pour des échantillons répétables. Par ailleurs, le réacteur DxZ est capable de réaliser des opérations de passivation, de dépôt en couches minces et de transfert de motifs. Ces caractéristiques font du réacteur DxZ un outil précieux pour la recherche métallurgique et la production de structures complexes.
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