Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Electra #9088658 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Electra est un réacteur à grande échelle de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) appartenant à la famille des systèmes efficaces de dépôt en couches minces. Ce réacteur polyvalent est conçu pour déposer une large gamme de couches de matériaux, y compris des métaux, des oxydes, des nitrures et des carbures sur des substrats rigides et souples tels que le verre, le film, la céramique et les polymères. La performance efficace d'AMAT Electra est assurée par les fonctions intégrées de contrôle des processus telles que la manipulation automatisée des plaquettes, le réglage en temps réel et la surveillance in situ des processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Electra utilise trois composants primaires pour déposer des films ultra-minces sur des surfaces de substrat : un équipement d'écoulement de gaz fermé, une pompe turbomoléculaire et une chambre à vide basse pression. Le système d'écoulement des gaz renferme une combinaison d'entrées et de sorties de gaz, conçues à la fois pour l'entrée et l'échappement des gaz. Cette unité fournit une alimentation en gaz précise et contrôlée en continu à la chambre de réaction d'Electra. La pompe turbomoléculaire est un sous-système indépendant relié à la chambre de réaction et a pour fonction d'évacuer la chambre vers une plage de pression adaptée au traitement CVD. Enfin, la chambre basse pression est un isolateur équipé d'une machine d'échappement intégrée qui contient des chambres d'isolement indépendantes. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Electra est capable de déposer une large gamme de couches de matériaux sur une large gamme de matériaux de substrat. Cet outil offre une excellente uniformité de film, avec un indice d'homogénéité (mesuré en termes de Réflexion Haute Diffraction d'Électrons d'Énergie) de meilleur que 4E-04. Un certain nombre de films différents peuvent être étudiés sur AMAT Electra, tels que les oxydes métalliques, les films nitrurés et les systèmes multicouches. La polyvalence de ce réacteur est encore renforcée par la flexibilité à former une morphologie de surface différente, qui peut être personnalisée en fonction des besoins du client. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Electra offre également un large éventail de fonctionnalités pour l'optimisation et le contrôle des processus. La fonction d'accord en temps réel permet d'optimiser le processus de dépôt dans un large éventail de conditions. En outre, la fonction de surveillance in situ permet aux opérateurs de surveiller les paramètres de la recette en temps réel, permettant de diagnostiquer les problèmes rapidement et efficacement. La manipulation automatisée des plaquettes permet également de minimiser les temps d'arrêt et de maximiser le débit. En conclusion, Electra est un actif CVD avancé qui permet de déposer des films ultra-minces sur un large éventail de substrats. Les caractéristiques d'AMAT/APPLIED MATERIALS Electra, telles que sa large gamme de flux de gaz et l'optimisation des procédés, permettent un fonctionnement continu et automatisé pour un dépôt efficace. AMAT Electra est adapté à diverses applications de couches minces, telles que les oxydes métalliques, les films nitrurés et les systèmes multicouches, ce qui en fait l'un des systèmes de dépôt les plus polyvalents disponibles.