Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler #9093620 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le catalyseur est un réacteur ultramoderne à haut rendement conçu pour faciliter le dépôt de couches minces pour des applications semi-conductrices et optoélectroniques. L'équipement offre une large gamme de chimies de dépôt et de combinaisons de matériaux, un débit élevé et une répétabilité de processus élevée. AMAT Facilitateur offre une grande flexibilité grâce à son Programmable Process Controller (PPC), permettant aux utilisateurs de définir rapidement et facilement les paramètres du processus et de surveiller le fonctionnement du réacteur en temps réel. Au cœur de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le catalyseur est sa source de plasma à résonance cyclotron électronique avancée (ECR). Cette source fonctionne à basse pression pour permettre la formation d'espèces énergétiques qui peuvent déposer du matériel à des vitesses plus élevées et avec une plus grande uniformité que d'autres types de sources. La décharge est ensuite transportée à la surface de croissance par un système mag-jet réglable, destiné à créer un flux uniforme de particules sur l'ensemble du substrat. Cette unité peut également être utilisée pour créer une zone de haute énergie réglable pour des films difficiles, tels que le nitrure de silicium ou l'arséniure de gallium. Afin d'assurer la cohérence des résultats du processus, Facilitateur est équipé d'une machine programmable de mélange de gaz et de protection contre les surpressions, ainsi que d'un contrôle automatisé du mouvement des gaz. Cela aide à réduire la contamination croisée des conduites de gaz et les problèmes d'ingestion de gaz. En outre, l'outil est conçu avec un total de trois zones de processus. Ces zones sont disposées en V inversé pour optimiser l'homogénéité, assurant un dépôt uniforme sur toute la taille du substrat. AMAT/APPLIED MATERIALS Facilitateur offre également des capacités complètes de diagnostic de processus. Il est capable de maintenir l'environnement du réacteur et de surveiller les paramètres du processus, tels que la pression, la température et le débit. Ceci permet d'optimiser le processus de dépôt et de minimiser les défauts. De plus, un pyromètre optique peut être utilisé pour mesurer le profil de température latéral à travers le substrat pour l'optimisation du procédé. AMAT Facilitateur est un actif de dépôt complet et convivial conçu pour fournir des capacités de dépôt en couches minces de haute qualité. Sa grande efficacité, sa polyvalence et ses capacités de diagnostic complètes peuvent être utilisées pour déposer un large éventail de matériaux et de combinaisons avec des résultats reproductibles et de haute qualité. Avec son PPC, les utilisateurs peuvent facilement définir les paramètres du processus, surveiller le fonctionnement du réacteur et optimiser le processus de dépôt. Cela fait des matériaux appliqués un modèle précieux pour créer des applications semi-conductrices et optoélectroniques de haute qualité.