Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9093774 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur Endura 5500 HP est la dernière génération d'outils de gravure à semi-conducteur de la gamme AMAT. Le réacteur AMAT Endura 5500 HP est un réacteur à haute puissance à dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à plasma multichambre conçu pour le traitement en IC sous micron profond. L'outil à cinq chambres est spécifiquement conçu pour être très polyvalent et traiter efficacement plusieurs structures de dispositifs avec un seul module de processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura 5500 HP offre des capacités sans précédent pour le traitement de la métallisation ultra-interne à plusieurs niveaux, le contact via des interconnexions, des interconnexions locales et des interconnexions haute densité. L'outil à cinq chambres est équipé d'un système de distribution de gaz à deux zones/décalage vertical, conçu pour fournir avec précision des gaz multiples à différents débits dans différentes chambres de traitement. Un système de distribution de liquide est également disponible pour l'amélioration supplémentaire du processus. Le réacteur Endura 5500 HP est équipé de sept chambres de traitement PE-CVD actionnées indépendamment, avec un contrôle indépendant de la température, de la pression et du débit pour chaque chambre. Un système de contrôle numérique permet une personnalisation et un contrôle précis des paramètres du processus. La source d'ions haute puissance de l'outil permet le traitement d'oxydes de grille extrêmement fins, et permet un excellent contrôle du débit élevé de motifs de minuscules. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP Reactor intègre des capacités avancées de contrôle et de surveillance de processus, telles que les mesures de sources d'ions en ligne, la confirmation de recette finale et les graphiques d'intégration de données. Ces capacités de procédé, ainsi que les capacités de nettoyage par voie humide, font du réacteur 5500 HP un outil idéal pour le traitement efficace de structures complexes. AMAT Endura 5500 HP Reactor est un outil puissant et complet conçu pour répondre aux exigences strictes de la fabrication avancée d'IC. Avec des capacités de traitement avancées, un débit élevé et un actionnement indépendant de la chambre, le réacteur Endura 5500 HP est un excellent choix pour une production cohérente et fiable de structures de sous-microns avec des exigences de processus complexes.