Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9223524 à vendre en France
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ID: 9223524
Taille de la plaquette: 8"
PVD System, 8"
Multi-chamber sputtering system
Process: Copper
Dry pump type: EBARA AA40W (System)
LLA
LLB
(2) Al
(2) Ta PVD
(2) PCII
(2) DG
System controller
SMIF System:
(2) LPT 2200
(2) Load locks
Handler system:
Buffer Hp
Transfer VHp
(2) Hoisters
Process chambers:
(2) ImpTa
(2) ClampAl
(2) PcII
(2) Degas
Main AC
NESLAB Chiller
(3) General racks
(2) Compressors
(4) EBARA Pumps
Chamber 1: B101 IMP Ta
Shutter disk
Body type: WB
Source type: Vectra IMP
Magnet type: RH-2
MFCs: Ar 140sccm
DC Generator: ADVANCED ENERGY MDX-L6
RF Generator:
ADVANCED ENERGY HFV8000 (RF Coil)
COMDEL CX-600S (AC Bias)
RF Match:
HE
BIAS
Vectra IMP
010CAP 2MHz (RF Coil)
13.56 MHz (AC Bias)
Cryo Pump: CTI On-Board 8F
No turbo pump
Chamber 2 & 3: Clamp Al
Body type: WB
Source type: 12.9''
Magnet type: Al A, 12.9''
DC Generator: ADVANCED ENERGY MDX-L12M
MFCs:
Ar 140sccm
Ar-H 70sccm
Cryo pump: CTI On-board 8F
No shutter disk
No RF Generator
No RF Match
No turbo pump
Chamber: 4 B101 IMP Ta
Shutter disk
Body type: WB
Source type: Vectra IMP
Magnet type: RH-2
MFCs: Ar 140 sccm
ADVANCED ENERGY MDX-L6 DC Generator
RF Generator:
ADVANCED ENERGY HFV8000 RF Coil
COMDEL CX-600S AC Bias
RF Match:
HE
BIAS
Vectra IMP
010CAP 2MHz (RF Coil)
13.56MHz (AC Bias)
Cryo pump: CTI On-board 8F
No turbo pump
Chamber A & B: Cool down
Dry pump: EBARA AA20N
Pedestal type: Clncool
Chamber C & D: PCII
Process: Etch
PK Type: PIKII Pinless
Dry pump: EBARA AA20N
Turbo pump: LEYBOLD TMP
RF Generator:
COMDEL CPS1001S 13.56MHz
RFPP LF10A 400KHz
RF Match: PC II 13.56MHz
MFCs:
Ar 28sccm
Ar 420sccm
No DC Generator
No cryo pump
Chamber E & F: O/D
Degas type: Standard
Buffer & Transfer:
Cryo pump: CTI On-board 8F
Robot type: HP
Load lock:
Body type WB
Venting & pumping mode:
Soft slow
Fast
Wafer mapping: Standard
No scrubber / CDO
Heat exchanger: NESLAB III (PVD Chm)
Cryo compressor: Water cooled 9600
CIM Linked.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur Endura 5500 HP est un outil CVD compact et automatisé conçu pour effectuer de manière fiable un traitement de haute précision pour des applications avancées de matériaux. Ce réacteur dispose d'une vitesse et d'une précision inégalées avec sa précision micronique et son temps de balayage vertical pouvant aller jusqu'à 10 minutes. AMAT Endura 5500 HP est équipé d'une chambre robuste qui est bien adaptée pour les travaux de gros lots ainsi que les tâches les plus complexes. Il utilise le plasma à double fréquence pour optimiser les capacités de dépôt dans un large éventail de conditions de procédé. Les doubles moteurs, les modules de puissance RF haute performance, les multiples sources de dépôt indépendantes et la température de la chambre réglable fournissent une suite de paramètres de processus hautement reproductibles pour les applications les plus avancées. Les caractéristiques de démarcation de l'Endura comprennent ses puissantes capacités de contrôle et d'automatisation. Il dispose d'un bras robot avancé avec des effecteurs d'extrémité intégrés qui lui permettent de contrôler avec précision la trajectoire du porte-plaquettes à travers la chambre. L'Endura offre également un système d'interface utilisateur graphique convivial qui permet de modifier rapidement les paramètres et de surveiller le processus en temps réel. Les éléments de chambre motorisés, tels que le bras robot, la chambre à quartz et les systèmes de distribution de gaz, permettent d'ajuster à l'infini les matériaux appliqués Endura 5500 HP pour des fonctions de couches minces ultra précises. Ce réacteur peut être utilisé pour des procédés de dépôt utilisant des réactifs organo-métalliques, tels que des procédés à base d'ozone, ainsi que des procédés de dépôt utilisant des précurseurs en phase solide. Endura 5500 HP est conçu pour offrir une fiabilité et des performances exceptionnelles. Ses fonctionnalités avancées offrent des capacités de développement de processus flexibles, y compris le profilage des processus, le diagnostic, la surveillance à distance et l'enregistrement des données. Le réacteur dispose également de divers dispositifs de sécurité pour protéger les opérateurs et le système lui-même contre les risques potentiels. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura 5500 HP est un réacteur efficace et fiable qui peut traiter les applications de dépôt les plus difficiles. C'est un choix idéal pour les applications de matériaux avancés, permettant la production de films et de surfaces de haute qualité avec des rendements sans précédent.
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