Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9373206 à vendre en France
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ID: 9373206
Taille de la plaquette: 2"-6"
PVD Sputtering system, 2"-6"
(2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur Endura 5500 HP est un équipement compact et performant de traitement des CVD adapté à une variété d'applications avancées de traitement des matériaux. Il dispose d'un dispositif breveté de chauffage à vide haute 2 zones et d'un pulvérisateur de 6 « x 6 » (152 x 152 mm) qui permet un contrôle indépendant des températures de la source et du substrat. La configuration flexible et intégrée offre un débit élevé pour une grande variété d'applications à haute température. Les chauffages à double zone brevetés AMAT Endura 5500 HP permettent un contrôle simultané de l'homogénéité des sources et des substrats, ce qui permet un développement rapide et répétable des processus. La conception garantit des profils de température et de pression uniformes dans toute la zone du substrat, améliorant l'uniformité, la fiabilité et le rendement du procédé. La chambre principale de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Réacteur Endura 5500 HP dispose d'un bouclier refroidi à l'eau qui aide à promouvoir l'uniformité des procédés et à améliorer le contrôle des procédés. Le système de recirculation de grande capacité assure une répartition uniforme de la température dans la chambre, assurant la répétabilité du processus. De plus, le suscepteur peut être tourné, offrant une flexibilité supplémentaire pour assurer un traitement uniforme. Le réacteur Endura 5500 HP dispose également d'une large gamme de procédés, y compris CVD, pulvérisateur, gravure et diffusion. Il est optimisé pour les procédés et composants à haute température, atteignant des températures de 2000 ° C en moins d'une minute. Configuré avec une gamme d'accessoires intégrés, l'appareil peut être optimisé pour répondre aux besoins spécifiques de traitement de différentes applications. La facilité d'utilisation du réacteur Endura 5500 HP AMAT/APPLIED MATERIALS le rend idéal pour diverses applications liées à la LED, au MEMS et à la microélectronique, pour n'en citer que quelques-unes. Le logiciel de contrôle intuitif fournit des capacités avancées de développement de processus et des programmes de création de recettes pour des flux de travail faciles. La conception modulaire et l'interface conviviale permettent des paramètres de processus rapides et faciles. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT Endura 5500 HP est adapté à une gamme variée d'applications et de procédés avancés, qui nécessitent une machine de traitement CVD compacte, performante et reproductible. La conception intégrée, l'interface conviviale et les processus optimisés améliorent l'uniformité et le rendement des processus, ce qui en fait un choix idéal pour des tâches de haute précision.
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