Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 SIP EnCoRe #158915 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 SIP EnCoRe est un réacteur de pointe conçu pour fournir des performances supérieures et un fonctionnement simplifié dans une variété de processus de modules - de la croissance épitaxiale efficace Si, la croissance épitaxiale sélective (SEG) à l'oxydation et le dépôt de nitrure de silicium. Le 5500 SIP EnCoRe utilise la technologie AMAT Next Generation Thermal Control (NTCT), qui calme la variabilité des processus en permettant un contrôle complet de toute la gamme thermique. Ceci est réalisé grâce aux algorithmes avancés de contrôle de la température de NTCT, permettant au réacteur de réguler avec précision la chambre de procédé de 4 ° C à 1200 ° C en secondes. Le 5500 SIP EnCoRe est alimenté par sa source exclusive de plasma à couplage inductif (ICP), conçue pour maximiser la flexibilité et le contrôle du processus. Le système ICP peut être utilisé pour créer des feuilles de plasma très homogènes, avec une stabilité de processus maintenue sur des tailles de substrat variables. Ces fonctionnalités permettent à l'utilisateur d'ajuster la puissance, la pression totale et le biais d'abonnement en fonction des exigences de l'application, garantissant la capacité d'adaptation et la fiabilité. Le réacteur présente également une conception de loadlock qui permet une étanchéité rigide entre la chambre de transfert, la chambre de chargement et la chambre de procédé. Cela réduit la contamination potentielle, le risque de production de particules et simplifie la transition entre les différents processus. De plus, le 5500 SIP EnCoRe prolonge la vie de l'outil avec un mécanisme breveté d'atténuation de l'érosion, qui maintient la chambre du réacteur propre par rotation et vitesse réglable. Pour la surveillance des processus, le 5500 SIP EnCoRe dispose de plusieurs capacités de détection intégrées. La conception comprend plusieurs capteurs et un système de détection, qui permettent de mesurer la température radiométrique, de surveiller la pression de base, de mesurer l'épaisseur de la couche de dépôt et de signaler une faible utilisation des gaz. Tous ces paramètres sont automatisés et suivis, assurant une approche adaptée aux applications respectives des utilisateurs. AMAT Endura 5500 SIP EnCoRe est l'outil de gravure aux ions réactifs idéal pour optimiser la flexibilité du processus et le contrôle de la qualité. Offrant une précision de température supérieure, une faible contamination et une détection intégrée, le système se compose d'une série de fonctionnalités avancées conçues pour améliorer le contrôle des processus et réduire les coûts.