Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373207 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP
ID: 9373207
Taille de la plaquette: 2"-6"
PVD Sputtering system (4) Chambers.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura 5500 VHP est un réacteur avancé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour faciliter le dépôt de divers matériaux, tels que le silicium et les films diélectriques, ainsi que divers autres matériaux. Le réacteur AMAT Endura 5500 VHP utilise une chambre de procédé pour déposer des couches minces de matériaux sur le substrat, en utilisant une combinaison de gaz « dopants » AMAT et CVD. Le procédé est suivi d'une étape de recuit rapide avant le dépôt du film, ce qui améliore les qualités de la couche du film déposé. Le réacteur est composé de plusieurs composants principaux : une chambre principale, une chambre amont, un étage de substrat et un équipement d'injection de gaz. La chambre principale, qui est un système à ultra-haut vide (UHV), contient l'étage de substrat et assure une pureté élevée pendant le processus de dépôt. La chambre amont contient diverses conduites de gaz et composants pour supporter le procédé, tels que des injecteurs et des conduites de gaz. Le réacteur est équipé de contrôles de grande précision, permettant à l'utilisateur de réguler l'écoulement du substrat et de doper les gaz, assurant un dépôt uniforme et de grande qualité. Les températures du substrat sont également précisément contrôlées à l'aide de capteurs à quartz, maintenus entre des plages réglables de 250 ° à 400 ° C Une pression de la chambre de réaction réglable est également maintenue pour une stabilité optimale du procédé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur VHP Endura 5500 est équipé de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité de toutes les personnes présentes à proximité. Cela comprend un verrouillage mécanique des portes, des capteurs de pression et des boutons d'échappement pour s'assurer que toutes les parties de l'unité fonctionnent correctement. Une machine d'isolement de gaz d'urgence et un outil de suppression d'incendie offrent également une sécurité accrue. Le fonctionnement du réacteur est extrêmement efficace, ce qui permet à l'utilisateur d'obtenir un taux de dépôt élevé, une précision et une répétabilité exceptionnelles et une excellente qualité des matériaux. Des capacités d'automatisation élevées et complètes minimisent les temps d'arrêt, ce qui permet un rendement plus élevé et des temps de cycle plus courts. En outre, le réacteur est fiable, durable et facile à entretenir. Endura 5500 VHP est un choix idéal pour le dépôt d'une gamme de matériaux et de films diélectriques. Ses caractéristiques avancées, notamment le contrôle de haute précision, les caractéristiques de sécurité, l'efficacité et la durabilité, en ont fait un choix fiable et efficace dans l'industrie des CVD.
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