Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP #9373208 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP
ID: 9373208
Taille de la plaquette: 6"
PVD Sputtering system, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 VHP est un réacteur de traitement thermique vertical (VHP) conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce réacteur est spécialement conçu pour répondre aux exigences croissantes de l'industrie des semi-conducteurs, qui comprend des niveaux élevés de précision et de répétabilité. AMAT Endura 5500 VHP est conçu pour fournir une puissance et une homogénéité à haute température à l'intérieur du réacteur. Pour ce faire, on utilise un réseau de sources RF série 3000, supportées indépendamment et alignées verticalement, qui agissent à la fois comme source d'ions et comme source de chaleur. Les sources RF de la série 3000 permettent au réacteur de délivrer de la puissance à des substrats de toute orientation raisonnable, ce qui permet un contrôle fin de la libération d'énergie modulée. Avec cette capacité, les matériaux appliqués Endura 5500 VHP peuvent précisément réguler la température de surface et les niveaux de puissance, permettant à la fois des solutions à haute température et à basse énergie. Le réacteur dispose également d'un système avancé de contrôle de l'homogénéité qui permet un réglage précis de la distribution de la puissance. Ceci assure une sortie d'énergie uniforme sur toute la surface pour créer l'uniformité et la précision souhaitées. En outre, le réacteur est équipé d'une chambre d'arc basse, ce qui réduit les risques de décharge électrostatique à l'intérieur de la chambre. Cela permet un fonctionnement sûr et sécurisé. Endura 5500 VHP utilise la technologie de traitement thermique la plus récente, y compris l'injection de gaz inerte et la technologie du vide pour réduire les particules et les impuretés pendant la gravure et le dépôt. Le système est tiré parti un ISO-14644-1 cleanroom la norme, pour que toutes les composantes dans le réacteur reçoivent le même niveau de propreté. Cela garantit un environnement cohérent et presque parfait au sein de la chambre afin d'obtenir des résultats uniformes et reproductibles. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS L'Endura 5500 VHP dispose également de capacités exceptionnelles de surveillance des processus, qui permettent à son opérateur de visualiser la température et les conditions de processus en temps réel. De plus, son interface utilisateur graphique conviviale permet de configurer facilement les paramètres et de sélectionner les recettes, ce qui permet le bon fonctionnement de l'appareil. AMAT Endura 5500 VHP est un réacteur de traitement thermique vertical avancé (VHP) conçu pour répondre aux besoins de haute technologie de l'industrie des semi-conducteurs. Son réseau de sources RF 3000 alignées verticalement et supportées indépendamment permet un contrôle fin du chauffage du substrat et des niveaux de puissance, tandis que sa chambre d'arc basse diminue le risque de décharge électrostatique. Ce réacteur est aussi équipé avec un système de contrôle d'uniformité avancé, l'injection du gaz inerte, la technologie à vide et ISO-14644-1 cleanroom les normes, pour produire des résultats conséquents et repeatable. L'interface utilisateur graphique conviviale, ainsi que ses capacités de surveillance des processus, font des MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 VHP un appareil fiable et sécurisé pour toute production de semi-conducteurs.
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