Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #166248 à vendre en France
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Vendu
ID: 166248
Sputtering system, 8"
Process: AlCu / TiN / Ti
Specifications:
Robot:
Buffer: AMAT HP, ceramic blade
Transfer: AMAT HP, metal blade
System monitor:
1: stand alone
2: through the wall
3: stand alone
(1) each monitor rack
Load lock:
Narrow body with tits in and out
No sliding sensor kit
Chamber A
- Chamber type: Pass through
- Chamber Lid: Metal Lid
- Cooling method: NA
Chamber B
- Chamber type: Cool down
- Chamber Lid: Metal lid
- Cooling method: By PCW
Chamber C
- Chamber type: N/A
- Chamber process:
- RF Gen/DC power supply
- Turbo pump:
- Process gas
Chamber D
- Chamber type: Preclean I
- Chamber process:
- RF Gen/DC power supply1:
- RF Gen/DC power supply2:
- Turbo pump
Chamber F:
- Chamber type: Orient/Degas
Chamber 1
- Chamber type: Standard body
- Chamber process: AlCu, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K SLAVE
- RF Gen/DC power supply2: A, MDX-20K MASTER
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-20059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 2
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: TiN
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: : CTI CRYO 8F 2phase
- Source(Lid) type : P/N 0010-20059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 3
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: Ti
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-70059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 4
- Chamber type: Wide body
- Chamber process: Ti, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-20059
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Includes:
- Heat exchanger type: Neslab III 1ea
- Compressor type: CTI 8500 2ea
- EMO on source cover : No
- Shutter : No
- SBC : V440
- KSI Shild Treatment DC Power Supply 1ea
- AE, MDX-052, SHILD TREATMENT CONTROLLER
- COMDEL, CPS-1001 RF POWER SOURCE 60.00Hz
- 15V P.S. ASSEMBLY / 24V P.S. ASSEMBLY
Installed
1994 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor est un appareil de gravure plasma de nouvelle génération conçu pour répondre aux besoins des fabricants de dispositifs semi-conducteurs modernes. Ce système réactionnel est capable de fournir des processus de gravure précis pour une large gamme de mémoires et de dispositifs logiques avancés CMOS, 3D NAND et DRAM. En utilisant des buses intégrées exclusives combinées à une source de plasma haute densité, AKT Endura 5500 peut fournir d'excellents taux de gravure, une grande uniformité sur une grande surface de plaquette, et un cyclage en chambre rapide pour augmenter le débit. AMAT ENDURA 5500 est livré avec une puissante pompe à vide et une haute pression motrice pour faciliter le retrait rapide des matériaux de dégazage de la chambre de procédé. La machine est équipée de la dernière technologie de source et de distribution de plasma, permettant à l'utilisateur d'ajuster les paramètres de gravure en temps réel et les résultats de gravure fine pour minimiser les dommages aux surfaces délicates pendant le traitement. L'enceinte en plastique de l'outil est conçue pour amortir le bruit acoustique, protégeant les composants de précision de l'actif contre les vibrations et les interférences électromagnétiques. Il contient également un modèle intégré de livraison de gaz et des réserves de gaz en vrac, permettant la livraison et le contrôle précis de gaz de trempe multiples. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est équipé d'un poste de travail et d'un contrôleur configurables, permettant à l'utilisateur de stocker, rappeler et ajuster les recettes de gravure en fonction des exigences du matériau ou du produit. Les autres caractéristiques comprennent la capacité multi-processus, le contrôle manuel/automatisé du flux, les paramètres de lots configurables, le diagnostic et la déclaration. AMAT Endura 5500 est conçu pour un fonctionnement propre dans des environnements de classe 1 Salle blanche et est disponible en plusieurs configurations pour un fonctionnement flexible, y compris le fonctionnement manuel/à distance/console. Cet équipement de réacteur a été fabriqué selon les normes de qualité les plus élevées, fournissant des résultats fiables et reproductibles. Il offre un rendement, un débit et une économie d'exploitation améliorés dans une plate-forme unique et flexible.
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