Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #166249 à vendre en France
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Vendu
ID: 166249
Style Vintage: 1993
Sputtering system, 8"
Wafer size: 8" flat (not notch)
Configuration:
Chamber 1: AlCu
Chamber 2: TiN
Chamber 3: Ti
Chamber 4: Ti
Preheat
Etch
Clean bench
Clamp (not electrostatic chuck)
Robot:
Buffer: AMAT HP, ceramic blade
Transfer: AMAT HP, metal blade
System monitor:
1: stand alone
2: through the wall
3: stand alone
(1) each monitor rack
Load lock:
Narrow body with tits in and out
No sliding sensor kit
Chamber A
- Chamber type: Pass through
- Chamber Lid: Metal Lid
- Cooling method: NA
Chamber B
- Chamber type: Cool down
- Chamber Lid: Metal lid
- Cooling method: By PCW
Chamber D
- Chamber type: Preclean I
- Chamber process:
- RF Gen/DC power supply1:
- RF Gen/DC power supply2:
- Turbo pump
Chamber F:
- Chamber type: Orient/Degas
Chamber 1
- Chamber type: Standard body
- Chamber process: AlCu, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K SLAVE
- RF Gen/DC power supply2: A, MDX-20K MASTER
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: P/N 0010-70086
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 2
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: TiN
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: : CTI CRYO 8F 2phase
- Source(Lid) type : UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 3
- Chamber type: Wide Body
- Chamber process: Ti
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE, MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Chamber 4
- Chamber type: Wide body
- Chamber process: Ti, Preheat
- Process kit type/items/material: UNKNOWN
- RF Gen/DC power supply1: AE MDX-10K MASTER
- RF Gen/DC power supply2: N/A
- Chamber pump: CTI CRYO 8F 2phase
- Source (Lid) type: UNIDENTIFIED
- Pedestal type: A101 HEATER, Lifter : P/N 0010-20300
- Process gas: Ar, N2
Includes:
- Heat exchanger type: Neslab III 1ea
- Compressor type: CTI 8500 2ea
- EMO on source cover : No
- Shutter : No
- SBC : V440
- KSI Shild Treatment DC Power Supply 1ea
- AE, MDX-052, SHILD TREATMENT CONTROLLER
- COMDEL, CPS-1001 RF POWER SOURCE 60.00Hz
- 15V P.S. ASSEMBLY / 24V P.S. ASSEMBLY
- 2Board MISC. on MASS STROAGE BOARD
Includes pumps
Installed
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur de gravure à plasma conçu pour le traitement de haute précision et la production de composants microélectroniques délicats. L'AKT Endura 5500 est un équipement entièrement fermé composé d'une chambre de procédé, d'une pompe à vide externe et de plusieurs autres composants périphériques. Le système est conçu pour fournir des résultats de processus fiables et cohérents et idéal pour la gravure, le balisage et d'autres besoins de traitement microélectronique de précision. La chambre de procédés AMAT ENDURA 5500 est une enceinte en aluminium recouverte de baies vitrées en céramique pour protéger les composants du procédé. Le réacteur utilise une variété de gaz et de sources d'énergie pour créer et définir des modèles complexes. Des bouteilles de gaz ou des collecteurs peuvent être fixés à la chambre, selon l'application, et fournir une chimie réactive qui interagit avec le matériau de surface comme dirigé par un contrôleur programmable. Un générateur de champ électromagnétique est également installé pour fournir l'énergie ionique nécessaire au contrôle du processus. ENDURA 5500 permet des réglages réglables de la pression, du débit et de la température, qui sont gérés par une vanne de gaz réactive et un thermocouple de chambre. La pression est maintenue par une pompe à vide externe à deux étages, qui est automatiquement dégazée au démarrage. Ceci garantit que la chambre de procédé est exempte d'impuretés avant le début de la production. En plus de ses contrôles, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 propose également aux opérateurs des outils de surveillance et de diagnostic avancés pour garantir une productivité maximale. Ceux-ci comprennent un affichage de données en temps réel, un moniteur de pression et un minuteur de précision qui peut être réglé pour gérer la durée du processus. De plus, l'unité a des fonctions de sécurité intégrées telles que la surpression et la protection contre la surchauffe. Cela garantit des produits de la plus haute qualité et des taux de production efficaces. Endura 5500 est bien connu pour sa fiabilité et fournit constamment des résultats de gravure de haute qualité. Cela en fait un choix idéal pour une variété de besoins de traitement microélectronique. Ses commandes réglables, ses outils de diagnostic et ses dispositifs de sécurité intégrés garantissent également une grande efficacité de la machine et donnent d'excellents résultats.
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