Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #190620 à vendre en France
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Vendu
ID: 190620
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
PVD Sputtering system, 8"
Chamber Type: 4 Chamber (1 Standard Body, 3 Wide Body), Pre-Clean 1 Type
Process: Al Cu, Ti, TiN
Wafer size: 8" / JMF
Configuration:
Chamber A: Pass through
Chamber B: Cool down
Chamber D: Preclean I
Chamber F: Orienter degas
Chamber 1: ALCu (clamp)
Chamber 2: TiN (101)
Chamber 3: Ti (101)
Chamber 4: Ti (clamp)
Robot:
Buffer: HP
Transfer: HP
Load Lock:
Narrow body with tilts in/out
No sliding sensor kit
Chamber A:
Type: pass through
Lid: metal
Cooling method: N/A
Chamber B:
Type: cool down
Lid: metal
Cooling method: by PCW / by gas
Chamber D:
Type: Preclean I
Process: oxide etch
RF Gen/DC power supply 1: CPS-1001
RF Gen/DC power supply 2: N/A
Leybold 361C: Turbo/Cryo pump Type
Chamber 1:
Type: standard body
Process: Al Cu, 0010-20225
RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12M (Master)
RF Gen/DC power supply 2: AE MDX-L12 (Slave)
RF Gen/DC power supply 3: N/A
Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase
Gate valve type: 2-position
Pedestal type: Clamp (4F)
Process Gas:
Ar STEC 100 N2 100sccm
Ar-HTR STEC 100 N2 100sccm
Chamber 2:
Type: wide body
Process: TiN, 0010-20223 B+
RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12
RF Gen/DC power supply 2: N/A
RF Gen/DC power supply 3: N/A
Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase
Gate valve: 3-position
Pedestal type: 101
Process Gas:
N2 STEC 200 N2 200sccm
Ar STEC 100 N2 100sccm
Chamber 3:
Type: wide body
Process: Ti, 0010-20223 B+
RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12
RF Gen/DC power supply 2: N/A
RF Gen/DC power supply 3: N/A
Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase
Gate valve: 3-position
Pedestal type: 101
Process Gas:
N2 STEC 200 N2 200sccm
Ar STEC 100 N2 100sccm
Chamber 4:
Type: wide body
Process: Ti, 0010-20223 B+
RF Gen/DC power supply 1: AE MDX-L12
RF Gen/DC power supply 2: N/A
RF Gen/DC power supply 3: N/A
Turbo/Cryo pump Type: Cryo Pump, 3 phase
Gate valve type: 3-position
Pedestal type: clamp (4F)
Process gas:
N2 STEC 200 N2 200sccm
Ar STEC 100 N2 100sccm
Ar-HTR STEC 100 N2 100sccm
Heat exchanger: Neslab Type II
Compressor type: CTI 8500, CTI 9600
SBC type in controller: V21
Ion gauge type: nude
Main AC box: 220VAC, 3 Phase, 60Hz
System Monitor:
1st Monitor: stand alone
2nd Monitor: through the wall
3rd Monitor: -
Installed
1995 vintage.
AKT AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor est un équipement de traitement thermique avancé conçu pour un frittage efficace des condensateurs céramiques. Le système dispose d'une capacité de contrôle thermique optimisée qui assure un chauffage uniforme et répétable des matériaux céramiques et fournit un meilleur contrôle de la température sur une large gamme de processus. AKT Endura 5500 fournit également des débits élevés avec des dispositifs complets de prévention de la contamination pour un processus de frittage fiable et répétable. AMAT ENDURA 5500 dispose d'un environnement de gaz réactif à basse pression pour un frittage optimal. Un contrôle de modulation indépendant permet une flexibilité maximale pour les paramètres de processus individuels. Les chambres de procédés multi-zones à basse pression sont bien isolées thermiquement et peuvent être utilisées pour chauffer et refroidir rapidement les pièces. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 permet également de modifier les temps de cycle pour répondre à des exigences spécifiques. L'unité est équipée de fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus qui peuvent être utilisées pour optimiser les performances de la machine. Ces caractéristiques comprennent le contrôle actif de la zone, l'uniformité de température, la récupération des défauts, la protection contre les températures excessives, la protection contre les fuites thermiques, la surveillance de la pression, la fin du cycle et la surveillance du profil. Cela aide les utilisateurs à maximiser la précision du cycle de frittage pour une meilleure qualité et des résultats répétables. Endura 5500 dispose également de capacités automatiques de cartographie et de suivi des plaquettes pour une traçabilité complète tout au long du processus de frittage. Pour répondre aux exigences de fiabilité les plus élevées, l'outil est conçu pour soutenir la propreté des procédés pour la prévention de la contamination et est conforme aux normes de l'industrie. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est un réacteur avancé et fiable spécialement conçu pour le frittage des condensateurs céramiques. L'actif offre un contrôle de processus amélioré avec contrôle actif de zone, uniformité de température, récupération des défauts, protection contre les températures excessives et surveillance de la pression pour de meilleurs résultats reproductibles. Il dispose également d'un système automatisé de cartographie et de suivi des plaquettes pour la traçabilité. Le modèle est conçu pour prévenir la contamination et est conforme aux normes de l'industrie, ce qui en fait un choix idéal pour le frittage des condensateurs céramiques.
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