Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293762777 à vendre en France
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ID: 293762777
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
PVD System, 8"
(2) Open Cassettes
(2) SMIF
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor est un outil avancé en nanofabrication avec droits acquis permettant une fabrication électronique à très faible bruit avec des performances de processus extrêmes. Doté d'un environnement optimisé, il offre une excellente stabilité, répétabilité, et un meilleur débit pour la fabrication de dispositifs de haute performance. Sa conception en trois zones permet une taille maximale du substrat de 300mm avec une portée de course allant jusqu'à 10cm. Les chambres sont constituées des deux chambres actives électrostatiques et de la chambre unique, passive, de charge/déchargement du substrat. Les chambres actives sont conçues pour le traitement latéral et frontal et peuvent fournir une capacité de traitement exceptionnelle sur différents types de substrats, y compris les films diélectriques multicouches, les films métalliques et les films d'oxyde métallique. AKT Endura 5500 dispose d'une grande zone de traitement active, permettant le traitement des écarts de 0,25 um, avec une fonction basse température pour les processus et composants sensibles. Il offre également un système innovant de mélange de gaz, permettant un contrôle précis de l'environnement du procédé, et a été conçu pour minimiser la contamination des particules et améliorer les performances du procédé. AMAT ENDURA 5500 est capable de capacités de traitement latéral et frontal qui permettent à ses utilisateurs de compléter le processus de fabrication sans avoir à transférer la plaquette entre les chambres. Il possède également des capacités intégrées d'émission de rayonnement hyperfréquence, d'alignement flexible des électrodes et d'introduction de précurseurs non oxydants pour des processus de dépôt très précis. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est équipé d'un contrôleur de processus haute performance, offrant un accès facile, un contrôle et une surveillance des processus en temps réel, ainsi qu'une programmabilité et une collecte de données faciles. Il dispose d'une interface de programmation glisser-déposer très efficace ainsi que d'une bibliothèque intégrée de recettes pour divers types d'appareils et de matériel. Dans l'ensemble, le réacteur AKT ENDURA 5500 offre une excellente plate-forme pour la fabrication de dispositifs, des conceptions 2D complexes aux applications 3D plus standard. Il offre une fabrication de bruit très faible, une forte capacité de processus, et une programmabilité facile, ce qui en fait un outil idéal pour un fonctionnement de haute précision et une fabrication d'appareil fiable.
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