Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293763421 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un équipement de gravure ionique réactive (RIE) conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce système utilise divers gaz de procédé et puissance RF pour graver des caractéristiques dans un substrat. L'AKT Endura 5500 est conçu pour les produits chimiques et les technologies à gravure multiple, y compris les diélectriques profonds, l'isolation des tranchées peu profondes (STI) et la gravure des dispositifs pour les matériaux hostiles. Il dispose d'une chambre à vide en acier inoxydable 304 qui peut traiter des plaquettes 8-in jusqu'à 30 cm2 de surface. AMAT ENDURA 5500 comprend des dispositifs de sécurité avancés tels que des soupapes d'arrêt automatique, une purge de chambre, des pompes et des capteurs pour assurer un fonctionnement sûr du personnel et de l'équipement. Il offre un accès facile à la chambre qui permet à l'utilisateur de changer les électrodes et de traiter les fixations sans ouvrir la chambre à vide. Ceci est avantageux en termes de rentabilité du procédé et d'efficacité dans le temps. L'unité est équipée d'une alimentation RF haute puissance isolée au sol fournissant une puissance RF jusqu'à 2000W à 13,56 MHz pour une gravure rapide et précise. Il dispose également d'une machine à antenne de haute précision et de bobines de balayage rapides qui peuvent être adaptés aux conditions de processus spécifiques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 utilise des algorithmes sur mesure qui optimisent automatiquement les paramètres du processus de gravure dans une large fenêtre de processus pour obtenir un profil de gravure de haute qualité. L'outil RIE est conçu avec plusieurs injecteurs de gaz de procédé pour une flexibilité maximale et une capacité de processus optimisée, des méthodes combinées de mélange de gaz, ainsi qu'un atout de contrôle de pression précis pour assurer un processus optimal et des résultats de gravure exacts. Le module intégré d'optimisation des processus rapides permet une configuration rapide et simple des nouveaux processus de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 dispose d'un contrôle de température variable de la chambre, ainsi que d'un préchauffage de substrat à commande automatique. Il comprend une interface logicielle pour un accès facile aux recettes de processus, l'enregistrement des données et l'optimisation empirique des paramètres. Dans l'ensemble, ENDURA 5500 est un modèle de gravure ionique réactive de pointe, économique et très flexible qui peut fournir des résultats de gravure supérieurs pour un large éventail d'applications. L'équipement est équipé d'une multitude de fonctionnalités et de capacités avancées qui en font un outil fiable et efficace pour l'industrie de fabrication de semi-conducteurs d'aujourd'hui.