Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293768842 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 293768842
Taille de la plaquette: 8"
PVD System, 8".
Le réacteur AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un outil spécialisé conçu pour accélérer et faciliter les tâches critiques de traitement des semi-conducteurs, telles que le dépôt électrochimique et la gravure, dans la production de dispositifs semi-conducteurs complexes. Ce réacteur à ultra-haut vide (UHV) est capable de traiter toute une gamme de matériaux, notamment des couches de métallisation, des films diélectriques, des films isolants, des films conducteurs anisotropes et des couches de photorésist. Cette large gamme de capacités de traitement, associée à sa conception haute performance, fait de l'AKT Endura 5500 une station de traitement fiable pour une variété de tâches différentes. AMAT ENDURA 5500 est un réacteur UHV qui supporte des capacités multi-processus. Le système utilise une architecture mécatronique standard de l'industrie, nécessitant une maintenance minimale et offrant une fiabilité maximale. Sa source de plasma multi-source de grande puissance est capable de fournir de la puissance radio-fréquence (RF), de la puissance RF impulsionnelle et de la polarisation continue à basse température pour une grande variété de processus de gravure. En outre, la capacité multi-sources fait également du système un choix idéal pour le contrôle serré des processus et l'utilisation des gaz de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 utilise une source thermique quadrilatère avec ses pompes turbomoléculaires bidirectionnelles et son chauffage indirect pour obtenir un traitement plasma à basse pression et haute température. La plate-forme à température contrôlée du système est capable de contrôler les températures à un degré Celsius près, ce qui la rend idéale pour les procédés tels que les dépôts de polymère à faible teneur en k et les dépôts diélectriques. De plus, cette source thermique est capable de contrôler les températures sur une large gamme de substrats. En outre, les matériaux appliqués Endura 5500 comprend des technologies de reconnaissance des gestes de haute précision et de contrôle robotique des mouvements, permettant une manipulation et un positionnement précis et automatisé des plaquettes. Cette technologie de pointe, associée à des capacités programmables de scriptage de recettes, permet aux opérateurs de créer rapidement des recettes hautement automatisées et répétables, permettant des temps de cycle rapides et un coût de fonctionnement réduit. AMAT Endura 5500 a été conçu pour permettre une intégration transparente avec les systèmes d'analyse des processus, d'enregistrement des données, de métrologie et de suivi des matériaux, ce qui en fait le choix idéal pour les environnements de production à petite et à grande échelle. Son interface opératoire intuitive assure un fonctionnement convivial, tandis que l'analyse en temps réel et les capacités de diagnostic à distance réduisent considérablement les temps d'arrêt. Endura 5500 est le choix idéal pour les opérations nécessitant un outil de traitement polyvalent et de haute précision capable de répondre à un large éventail d'exigences de traitement tout en continuant à gérer des tâches complexes avec facilité. Ses performances élevées, sa fiabilité et ses capacités automatisées donnent aux clients l'assurance que leurs besoins de production sont satisfaits tout en réduisant considérablement leurs coûts d'exploitation.
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