Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293769416 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 293769416
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
PVD System, 6"
HP Buffer robot
HP Transfer robot
Wafer type: JMF
Type / Process:
Chamber 1, 3 / AiPVD
Chamber 2 / TiPVD
Chamber A / Clean cool
Chamber B / Cool down
Chamber E, F / Orienter / Degas
Loadlock A/B:
Type: Narrow body LL
Indexer type: Manual
NESLAB III Chiller
(2) 9600 Water cooled cryo compressors
(5) CTI-CRYOGENICS OnBoard 8F Cryo pumps
HORIBA / STEC 4000 Mass Flow Controller (MFC)
Monitor
Power supply: 150 A, 50 Hz
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour être utilisé dans les semi-conducteurs et d'autres applications industrielles avancées. Il est capable de réaliser un large éventail de procédés de dépôt, allant du simple dépôt en phase vapeur de couches uniformes au dépôt plus complexe de couches empilées ou de dépôts structurés de matériaux différents. Cet équipement intègre une nouvelle conception d'un système silencieux de distribution de gaz haute performance avec des tubes à incandescence résistant à haute température, assurant un débit de gaz stable et uniforme. Le corps principal de l'AKT Endura 5500 est construit avec un cadre robuste en acier inoxydable qui abrite une variété de compartiments thermiquement isolés, chacun équipé d'une unité de chauffage et de refroidissement indépendante. La chambre primaire est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1200 degrés Celsius, tandis que d'autres chambres auxiliaires peuvent atteindre des températures allant jusqu'à 800 degrés Celsius. La chambre est également divisée en deux zones distinctes d'alimentation en gaz, permettant un traitement extra-propre de divers matériaux. L'une des caractéristiques les plus notables de ce dispositif est sa machine de chauffage multi-zones, qui permet un contrôle précis de la température dans chaque zone de la chambre. Cet outil est capable de chauffer simultanément différents composants, et offre un degré de granularité qui permet d'appliquer des paramètres et des mesures très spécifiques. En outre, AMAT ENDURA 5500 propose des innovations économes en énergie telles que des moteurs à transmission à fréquence variable, afin de réduire les coûts d'exploitation de l'énergie. D'autres caractéristiques de cet appareil comprennent son actif avancé de surveillance des processus, qui peut détecter, surveiller et signaler divers paramètres de processus, ainsi que ses composants in situ de nettoyage et de régénération. Le dispositif est également modulaire, ce qui signifie qu'il peut être facilement mis à niveau et configuré pour répondre aux besoins évolutifs de ses utilisateurs. Par exemple, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 peut être facilement connecté à des télécommandes permettant le fonctionnement à distance ou la collecte de données, ou même être connecté à un réseau de capteurs pour une meilleure surveillance des processus. Dans l'ensemble, la combinaison des caractéristiques et des capacités offertes par APPLIED MATERIALS Endura 5500 en fait un choix idéal pour les applications nécessitant un contrôle intensif de la température et des processus, comme la fabrication de semi-conducteurs, l'optique avancée et d'autres applications industrielles. Avec ses systèmes de contrôle avancés, son fonctionnement efficace et sa construction et conception robustes, APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 convient bien à toute application industrielle nécessitant des processus de dépôt fiables et cohérents.
Il n'y a pas encore de critiques