Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293810498 à vendre en France

AKT AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur avancé de gravure et de dépôt de plasma haute densité qui est conçu pour être utilisé dans la fabrication de noeuds de technologie avancée. Ce réacteur combine le dépôt de couche atomique renforcée par plasma Endura (PEALD) et le dépôt de silicium profond Endura (DSE) afin d'atteindre les niveaux de sélectivité et de performance les plus élevés pour les exigences les plus exigeantes en matière de traitement des gravures et des dépôts. AKT Endura 5500 est conçu pour fournir un contrôle précis et répétable des processus, lui permettant d'obtenir un contrôle précis des dépôts et de la sélectivité des gravures. Il offre un large éventail de capacités de procédé, y compris des chimistries à base d'azote et d'argon, des dépôts de silicium et d'oxydes, et des profils de gravure profonds et peu profonds. Il offre également la capacité de varier la pression, le débit de gaz et la température pour une flexibilité accrue. Le corps du réacteur est construit en acier de faible masse et est entouré d'un blindage thermique assurant une uniformité de température dans toute la chambre. A l'intérieur de la chambre, AMAT ENDURA 5500 utilise un plasma à couplage inductif (ICP) pour obtenir des taux de gravure et de plasma à haute densité. Le PIC est composé d'une série de bobines correspondantes qui sont conçues pour générer des plasmas de haute densité avec une uniformité allant jusqu'à 98,5 %. Le PIC est maintenu dans un environnement à basse température, ce qui contribue également à une meilleure uniformité des procédés. La puissance RF appliquée peut atteindre 1,5 kW, permettant une gravure plus profonde du silicium et des oxydes. ENDURA 5500 dispose d'un profil compatible avec les fenêtres de processus, lui permettant de gérer une large gamme d'appareils, y compris MEMS et d'autres architectures d'appareils modernes. Il est conçu pour un jeu moyen sur plaquettes (typiquement 5-15 microns), et est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre. En outre, AKT ENDURA 5500 utilise des solutions d'automatisation avancées, permettant un fonctionnement sans surveillance et des temps de cycle plus rapides. En résumé, AMAT APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 est un réacteur de gravure et de dépôt de pointe conçu pour la fabrication de noeuds de technologie avancée. Il permet un contrôle précis des processus de gravure et de dépôt et dispose d'un profil compatible avec les fenêtres de processus lui permettant de gérer une large gamme de dispositifs. En combinant le plasma haute densité avec le fonctionnement à basse température et l'automatisation avancée, APPLIED MATERIALS Endura 5500 est capable de fournir des résultats de haute qualité avec des temps de cycle optimisés.