Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293814954 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur de gravure à plasma conçu pour l'industrie de la microélectronique. Cet outil est utilisé pour la fabrication et la gravure de composants à petite échelle utilisés dans la fabrication de produits technologiques de pointe. AKT Endura 5500 est un réacteur numérique alternatif à haute température (DHTM) conçu avec une source de dépôt rotationnel qui fournit des procédés de dépôt et de gravure précis utilisant une variété de sources de plasma avancées. Le dispositif est configuré pour fonctionner isolément avec une chambre en acier inoxydable pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il utilise des sources d'ions columnaires et planaires pour effectuer une gravure et un nettoyage précis de la couche de procédé et du substrat sous-jacent. Il offre un haut niveau de contrôle sur l'opération de retrait de couche, avec un large choix de paramètres de processus tels que la température, la puissance et le timing. La chambre est équipée de détecteurs de fuites et de ventilateurs de refroidissement pour détecter toute fuite ou contamination du procédé. La pression à l'intérieur de la chambre peut être ajustée pour des performances optimales en fonction des exigences d'application. L'équipement est également équipé de moniteurs plasma pour s'assurer que les tensions et les courants corrects sont maintenus pendant le processus de gravure. Le système AMAT ENDURA 5500 peut également être configuré pour réduire les effets thermiques sur les plaquettes en permettant le refroidissement des substrats lors du processus de gravure. L'unité est conçue pour une production à haut volume et à bas volume, avec un nombre maximum de plaquettes par charge allant jusqu'à 192. L'interface logicielle permet également le transfert facile de recettes entre les différents systèmes, et fournit une interface facile à utiliser. Le DHTM d'Endura 5500 est parfait pour les applications de haute précision, car il fournit un dépôt et une gravure de haute précision. De plus, les caractéristiques de la machine permettent un fonctionnement précis pour une variété de substrats, y compris les polymères, les oxydes métalliques et les diélectriques à haut k. L'outil est conçu pour la facilité de fonctionnement, la fiabilité et la répétabilité. C'est un atout hautement programmable et offre un contrôle optimal des processus et de la flexibilité. Dans l'ensemble, ENDURA 5500 est un outil avancé de gravure et de dépôt pour l'industrie de la microélectronique. Il est conçu pour assurer une gravure et un dépôt précis des substrats de matériaux variés. Le modèle est également hautement programmable pour une gamme de paramètres de processus, et son architecture DHTM offre une précision et une fiabilité améliorées. En outre, l'équipement est équipé de détecteurs multiples pour assurer un fonctionnement fiable et sûr, tandis que ses systèmes de refroidissement assurent le contrôle thermique des plaquettes.