Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9004064 à vendre en France
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Vendu
ID: 9004064
Taille de la plaquette: 8"
HP PVD system, 8"
Wafer type: notch
Buffer robot type: HP
Transfer robot type: HP
Buffer robot blade: metal
Wafer sensors: cassette
Loadlock type: Narrow body with tilt
Fab installation: TTW
Transfer robot blade: metal
Software revision E8.86
Signal tower: Red-amber-green
System umbilicals: 50 ft standard
EMO's: momentary
Loadlock slit valve O rings: Viton (black)
No heat exchangers
Hard drive: 5 Gb
Chamber 2: PVD wide body
Process 2: PVD sputter
Susceptor / pedestal: 101
Process kit type: other
Manometer config: Single
Lid type: 11.3
Wall cooling: None
Manometer 1: 100mTorr
Throttle valve: none
Heater / cathode cooling: other
Pump configuration: Cryo
Manometer 2: None
RF gen / DC supply: AE MDX-L6
Endpoint system: No
Turbo pump: No
Slit valve oring: Viton black
Heated valve stack: No
Chamber orings: Viton brown
RF match: None
Chamber lid clamps: yes
Magnet number: 0010-20328
Chamber gases:
Gas 1 50sccm Nitrogen, STEC 4400 MC mtl seal, MFC18, Standard gas stick configuration
Gas 2 140sccm Argon, STEC 4400 MC mtl seal, MFC19, Standard gas stick configuration
Gas valves: Nupro
Chamber 3: PVD wide body
Process 3: PVD sputter
Susceptor / pedestal: 101
Process kit type: other
Manometer config: Single
Lid type: 11.3
Wall cooling: other
Manometer 1: 100mTorr
Throttle valve: none
Heater / cathode cooling: other
Pump configuration: Cryo
Manometer 2: None
RF gen / DC supply: AE MDX-L6
Endpoint system: No
Turbo pump: No
Slit valve oring: Viton black
Heated valve stack: No
Chamber orings: Viton brown
RF match: None
Chamber lid clamps: yes
Magnet number: 0010-20328
Chamber gases:
Gas 1 140sccm Argon, STEC 4400 MC mtl seal, MFC2, Standard gas stick configuration
Gas 2 100sccm Nitrogen, STEC 4400 MC mtl seal, MFC3, Standard gas stick configuration
Gas valves: Nupro
Chamber 4: PVD wide body
Process 4: PVD sputter
Susceptor / pedestal: 101
Process kit type: other
Manometer config: Single
Lid type: 11.3
Wall cooling: other
Manometer 1: 100mTorr
Throttle valve: none
Heater / cathode cooling: other
Pump configuration: Cryo
Manometer 2: None
RF gen / DC supply: AE MDX-L6
Endpoint system: No
Turbo pump: No
Slit valve oring: Viton black
Heated valve stack: No
Chamber orings: Viton brown
RF match: other
Chamber lid clamps: yes
Magnet number: 0010-01198
Chamber gases:
Gas 1 140sccm Argon, STEC 4400 MC mtl seal, MFC5, Standard gas stick configuration
Gas 2 50sccm Nitrogen, STEC 4400 MC mtl seal, MFC6, Standard gas stick configuration
Gas valves: Nupro
Chamber A: Pass through
Gas valves: Nupro
Slit valve oring: Viton black
Chamber orings: Viton black
Chamber B: Cooldown
Gas valves: Nupro
Slit valve oring: Viton brown
Manometer: None
Heater / cathode cooling: PCW
Chamber pump: Edwards
Chamber orings: Viton black
No turbo pump
Chamber E: Orienter / Degas
Chamber F: Orienter / Degas
AC Rack damaged during transport
1995 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un outil critique utilisé dans la fabrication de composants et de systèmes semi-conducteurs. Il est principalement utilisé pour créer des pièces et des dispositifs de haute endurance et de faible puissance qui répondent à une variété de normes de l'industrie. AKT Endura 5500 offre des performances et une fiabilité accrues par rapport à de nombreux autres outils sur le marché, ce qui en fait un choix idéal pour de nombreux processus de fabrication de plaquettes. AMAT ENDURA 5500 est un réacteur horizontal à chambre unique qui peut traiter plusieurs tailles de plaquettes. Il est conçu pour des processus de gravure et de dépôt de plasma rapides et de haute précision. L'équipement utilise une buse d'injection de gaz au fond de la chambre, conçue pour augmenter la vitesse de gravure et l'efficacité. La tourelle de l'AMAT Endura 5500 est équipée de ports combinés de verrouillage de charge et d'injection de gaz, permettant un chargement et un déchargement plus rapides et peu coûteux que les opérations manuelles. Le système a quelques modes de fonctionnement différents, y compris un mode « bobine-wafer » qui permet des cycles de processus répétables et un meilleur débit. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura 5500 est équipé d'une chambre à quartz de haute qualité et d'un couvercle conçu pour assurer l'intégrité sous vide. Cette chambre permet des processus de dépôt et de gravure de haute précision avec des niveaux de particules faibles, tout en couvrant une large gamme de pressions et de températures. L'unité est également construite avec un contrôleur programmable puissant, qui comprend des modes de commande automatique et manuelle pour gérer toutes les parties du processus de fabrication des plaquettes. ENDURA 5500 dispose également d'une machine avancée de nettoyage des plaquettes conçue pour améliorer encore le rendement. Il utilise une brosse électrique spéciale qui tourne à haute vitesse, éliminant efficacement toutes les particules de la surface de la plaquette. L'outil comprend également un moniteur de particules en temps réel qui réagit rapidement pour assurer un nettoyage sûr des plaquettes et le contrôle des brûlures. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est un outil extrêmement fiable pour la fabrication sous microns de précision des dispositifs semi-conducteurs les plus avancés. Il offre des performances de haute qualité dans les procédés monobloc à haut débit, ce qui en fait un choix économique pour les opérations de fabrication de plaquettes. L'actif est construit avec des composants de haute endurance et de faible puissance qui peuvent assurer un fonctionnement précis et précis pendant de nombreuses années.
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