Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9064236 à vendre en France
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Vendu
ID: 9064236
System, 8"
Process CH. 3: AL, CH. D: PC2(Oxide Etch )
Software version Unknown
Wafer Shape SNNF
Wafer Cassette 8”PEEK Miraial
SMIF Interface None
Heat exchanger: none
Chamber A COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber B COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber D PC2(Cryo Type)
Chamber E Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber F Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber 3 AL(Wide Body)
Transfer:
Load LockA/B Type Narrow automated tilt out
Transfer Robot Type HP+
Transfer Robot Blade Metal
Buffer Robot Type HP+
Buffer Robot Blade Metal
Buffer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Transfer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Chamber D:
Process Type Oxide Etch
Chamber Body Cryo Type(AMJ：0020-23249)
Pedestal Parts No. AMJ ：0010-20754
Lift Assy Parts No. AMJ ：0010-20753
Power Supply (kw) AMJ ：0190-70099
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 300sccm(SEC-4400MC)
Chamber 3:
Process Type AL
Chamber Body Wide Body(AMJ：0040-20195)
Source Type Standard
Target Type Unknown
Magnet Type AMJ ：0010-20225(Mechanical Fail)
Magnet Shim Size 0.5MM
Lift Assy Parts No. 0010-70271
Heater Parts No. 0010-12516
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Cryo Gate Valve Type 3Positon
Cryo Pump Type Enhanced(8116071G001)
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 100sccm(SEC-4400MC)
Cryo compressors:
(1) BROOOKS 8510, gas: He (99.999%pure)
(1) BROOOKS 8500, P/N: 8031348G001, gas: He (99.999%pure)
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur thermique vertical de pointe capable de réaliser des procédés de recuit, d'oxydation et de nitridation à haute température sur une variété de matériaux, le plus couramment utilisés dans les industries des semi-conducteurs et des MEMS. Ce réacteur dispose d'une conception unique à double tête qui peut traiter deux substrats simultanément et intègre une pompe à vide intégrée. L'AKT Endura 5500 est équipé d'éléments chauffants de pointe et d'un équipement de régulation de température numérique robuste qui assure un traitement thermique précis et uniforme. Le système de contrôle permet également de gravir et de gravir en douceur les profils de chauffage pour une large gamme de régimes de température et permet l'intégration d'éléments de chauffage supplémentaires pour des températures plus élevées. AMAT ENDURA 5500 dispose également d'une interface graphique intuitive pour faciliter l'utilisation, d'une unité de verrouillage intégrée qui assure des protocoles de sécurité, et d'une variété de paramètres configurables pour chaque application spécifique. La conception de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 intègre une construction en acier inoxydable durable avec un accès facile à des composants remplaçables et des entrées de gaz multiples pour la purge et l'introduction de gaz de réaction. Le réacteur est également équipé d'une fenêtre de 90 pouces et d'une caméra de visualisation en option ainsi que d'une machine de levage mécanique et de poids/courroie pour faciliter le chargement et le déchargement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est capable de traiter des plaquettes et des substrats jusqu'à 6 pouces de diamètre, est capable de traiter des substrats d'épaisseurs variables, y compris des substrats standards et ultra-minces, et a une température de traitement maximale de 1100 ° C Ce réacteur supérieur offre également une excellente homogénéité thermique, répétabilité et flexibilité dans la configuration du substrat, rendant AKT ENDURA 5500 idéal pour une variété de procédés de recuit à haute température, d'oxydation et de nitridation.
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