Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9096874 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur de traitement par lots multi-chambres conçu pour créer des couches minces sur des plaquettes semi-conductrices ou des cellules photovoltaïques. L'AKT Endura 5500 a une configuration standard de cinq chambres de processus distinctes, chacune avec son propre ensemble de paramètres contrôlables pour réguler la température, la pression, le débit de gaz, le chronomètre programmable et les dispositifs de sécurité. Chaque chambre peut être adaptée au processus spécifique en cours. La taille des lots d'AMAT ENDURA 5500 peut atteindre 11,5 pouces (29 cm) de diamètre, et les chambres ont un volume total de jusqu'à 3,8 pieds cubes (109,47 litres). ENDURA 5500 est conçu principalement pour les procédés de gravure ionique réactive (RIE), mais peut également être utilisé pour d'autres traitements en couches minces tels que la pulvérisation, le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Les chambres de procédés peuvent être chargées de gaz réactifs pour réaliser des procédés de gravure tels que la gravure d'oxyde, la gravure de nitrure de silicium, la gravure de verre de silicate de phosphore et la gravure de silicium polycristallin à basse pression. De plus, Endura 5500 peut être utilisé pour des procédés de dépôt tels que des oxydes, des nitrures et des photorésistes. La principale source d'énergie d'AMAT Endura 5500 est l'électricité alternative triphasée. Plusieurs caractéristiques environnementales et de sécurité sont intégrées au réacteur pour limiter l'exposition aux gaz dangereux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 dispose d'un cycle de purge réglable ainsi que d'un équipement d'épuration et d'un système de vide pour maintenir la chambre de processus propre et sécuritaire. Il dispose d'un interrupteur d'arrêt d'urgence et d'une unité de chasse de retour de gaz inerte pour contrôler les incendies pendant le traitement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 est conçu pour une grande variété de recettes de processus et a la capacité de contrôler précisément le temps, la température, la pression, le vide, le débit de gaz, et d'autres paramètres contrôlables. Le réacteur peut être actionné manuellement ou par une machine de rétroaction en boucle fermée sous contrôle programmable. Le logiciel flexible et convivial permet aux utilisateurs d'optimiser les paramètres du processus pour obtenir les résultats souhaités. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est capable de manipuler des géométries complexes de dispositifs semi-conducteurs, y compris des rapports d'aspect plus élevés et des structures de tranchées profondes. Sa conception modulaire permet aux opérateurs de dépanner et de calibrer facilement le réacteur. De plus, son outil de contrôle entièrement automatisé permet aux utilisateurs de créer et de stocker des recettes de processus, d'optimiser les paramètres de processus et de reproduire facilement les résultats.