Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9112161 à vendre en France
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Vendu
ID: 9112161
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1988-2000
PVD System, 6"
Process: STD AL/TiN
Wafer type: SNNF
Buffer robot: HP
Transfer robot: HP
Wide body load lock with auto-tilt in/out
Sliding sensor kit: no
Chambers A/B:
Chamber type: cool down
Chamber lid: metal lid
Cooling method: By PCW / By Gas
Chamber C:
Chamber type: empty
Chamber process: PCII
RF generator / DC power supply 1: LF-10
RF generator / DC power supply 2: CPS-1001
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: 361C
Chamber D: -
Chamber E: Orient / Degas
Chmaber F: Orient / Degas
Chamber 1:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18M
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chambers 2/3:
Chamber type: wide body
Chamber process: TiN, P/N: 0010-21844
RF generator / DC power supply 1: MDX-L12
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chamber 4:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
1988 - 2000 vintage.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un équipement sous vide ultra-haut conçu avec la fonction de traiter des matériaux à des températures extrêmes dans une atmosphère inerte. Ce type de système est utilisé dans les laboratoires de recherche de haute technologie et la production industrielle pour produire et traiter des produits précis. Cette unité spécifique est capable de températures jusqu'à 2000 ° C et de pressions dans des plages de vide ultra-élevées. La chambre de l'AKT Endura 5500 est équipée de multiples points d'accès pour insérer des matériaux, des échantillons et du gaz d'alimentation. La machine est conçue pour atteindre des débits élevés avec une dégradation minimale du matériau en cours de traitement. La chambre est en tubes à quartz qui permettent le passage des rayons UV pour des réactions catalytiques de surface ou des études de chimisorption. La chambre contient également un bras manipulateur chauffé qui peut déplacer avec précision des échantillons autour de la chambre et être programmé avec des vitesses de pression et des températures variables. Le réacteur AMAT ENDURA 5500 est alimenté avec un outil de chauffage multi-zones avancé. Cela permet un chauffage quasi sans diffusion qui peut rapidement changer les températures entre celles nécessaires à la culture de matériaux tels que le silicium, le bore et le phosphure d'indium. L'actif chauffant est également utilisé avec le bras manipulateur pour déplacer les matériaux entre les zones tout en les chauffant avec précision et rapidité. Le modèle est conçu avec des fonctionnalités conviviales, y compris un écran tactile, un logiciel de recette intégré pour des réglages rapides de la température et du programme, ainsi que des caractéristiques de sécurité telles que l'arrêt de pression d'urgence. Dans l'ensemble, le réacteur Endura 5500 est un équipement efficace et polyvalent pour le traitement, la fabrication et la recherche de matériaux. Grâce à son vide ultra-élevé, ses capacités de température avancées et son chauffage multi-zones, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est capable de traiter rapidement et précisément une variété de matériaux avec une dégradation minimale.
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