Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9134810 à vendre en France
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Vendu
ID: 9134810
Frame
(1) Pre clean chamber only (Ch# C,D) 2Ch
Loadlock Narrow / Auto
Buffer robot HP robot assy / 8" blade pivot assy
Transfer robot HP robot assy / 8" blade pivot assy
Ch#A pass 8" pedestal
8" Base
8" Lift hoop assy
Ch#B Cool 8inch Pedestal
8" Base
8" Manifold
8" Lift hoop assy
Ch#E Orient Degas 8" Orient / Degas assy (Degas lamp module missing)
Ch#F Orient Degas 8" Orient / Degas assy (Degas lamp module missing)
Ch#C PCII:
8" PCll assy
CPS 1001S
Ch#D PCII:
8" PCll assy
(2) 9600 Compressors
(2) 3P AC Controllers
(1) 25ft set of cables
(1) System Rack #1 (Components all Missing)
(1) Gen Rack #1
(1) Edwards QDP40 dry pump
Main AC is missing
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un équipement de réacteur de haute puissance conçu pour un large éventail d'applications avancées de traitement des matériaux. L'AKT Endura 5500 est doté d'un design à la fine pointe de la technologie, qui permet une grande flexibilité de débit et de processus. Le système fournit la capacité d'utiliser une source RF pour alimenter plusieurs chambres de processus simultanément et peut être alimenté par des sources LP-GF14 ou ICP-GF14. La conception unique de l'unité permet une grande vitesse de distribution du gaz et de réglage du débit de gaz. La chambre de procédé est enfermée dans un récipient sous vide thermiquement stable, avec des fenêtres en quartz qui donnent accès à la chambre de procédé pour le wafer, le susceptor et l'inspection des échantillons pendant le processus. La chambre est garnie d'un matériau d'ablateur revêtu de CVD qui assure une performance maximale et un contrôle fiable du processus. La chambre peut également être équipée d'une caméra infrarouge embarquée en option pour assurer la surveillance en temps réel des paramètres du plan du processus. AMAT ENDURA 5500 est équipé d'un logiciel intégré de contrôle des processus qui permet de créer facilement des recettes et d'enregistrer les données. Les recettes de processus sont conçues à l'aide d'une interface utilisateur graphique, permettant aux utilisateurs de visualiser facilement les paramètres et les recettes utilisés pour les taux de dépôt réussis. Le contrôle électronique avancé de l'AMAT Endura 5500 offre également une répétabilité de processus et une qualité de performance supérieures. Les impulsions rapides permettent une résistance rapide des feuilles et un contrôle de l'épaisseur du film, tandis que les réglages fins donnent accès à des caractéristiques spécifiques telles que l'optimisation du taux de dépôt d'oxyde. Le paquet intégré d'enregistrement des données stocke des données de processus détaillées. En outre, AKT ENDURA 5500 dispose d'une technologie intégrée de nettoyage des faisceaux d'ions pour le conditionnement des substrats, et lorsqu'elle est combinée avec les besoins de distribution intégrée des gaz de nettoyage, elle fournit une méthode optimisée pour éliminer les contaminants de la plaquette avant le dépôt du procédé. Endura 5500 est un outil polyvalent qui convient à un large éventail de besoins de traitement de matériaux avancés. Il offre une machine fiable et performante avec une variété de capacités d'intégration de processus conçues pour maximiser la qualité de performance des processus et réduire la complexité des outils. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est un choix idéal pour tous les besoins avancés de traitement des matériaux.
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