Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9134838 à vendre en France

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ID: 9134838
Style Vintage: 1999
Frame, AL sputter Chamber information a) Chamber A - Chamber type: pass thru - Chamber lid: metal lid b) Chamber B - Chamber type: cool down - Chamber lid: metal lid - Cooling method: By PCW / by gas c) Chamber C - Chamber type: - Chamber process: PC II - RF gen/DC power supply 1: Preclean - RF gen/DC power supply 2: CPS-1001 - Turbo/cryo pump type: LF-10 - Turbo/cryo pump Type: 361C e) Chamber E - Chamber type: orient/degas f) Chamber F - Chamber type: orient/degas g) Chamber 1 - Chamber type: wide body - Chamber process: TiN - RF gen/DC power supply 1: MDX-L12 - Turbo/cryo pump type: CTI OB-8F - Gate Valve: 2 Position h) Chamber 2 - Chamber type: STD body - Chamber process: AL - RF gen/DC power supply 1: MDX-L12 - Turbo/cryo pump type: CTI OB-8F - Gate Valve: 2 position i) Chamber 3 - Chamber type: STD body - Chamber process: AL - RF gen/DC power supply 1: MDX-L12 - Turbo/cryo pump type: CTI OB-8F - Gate Valve: 2 position j) Chamber 4 - Chamber type: STD body - Chamber process: AL - RF gen/DC power supply 1: MDX-L12 - Turbo/cryo pump type: CTI OB-8F - Gate Valve: 2 position j) System component System Controller - V440 SBC - Ion gauge controller - 15V, 24V DC power supply - 5Ph driver - 2Ph driver Generator rack#1 - MDX-L12 3ea , MDX-L18 1ea - Turbo controller 1ea Generator rack#2 - CPS-1001 , LF-10 Cryo compressor - 9600 comp 2ea AC rack - Short body Cryo Pump - 2Ph cryo OF-8F 6ea 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur semi-conducteur en ligne qui est utilisé pour déposer une grande variété de couches sur des plaquettes semi-conductrices. Ce réacteur utilise un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (VCD) pour produire des couches ultra lisses à haut rendement. AKT Endura 5500 est conçu pour permettre aux ingénieurs de processus de configurer rapidement et facilement leurs processus VCD. AMAT ENDURA 5500 est un réacteur de production avec un temps de cycle court et un débit élevé. Il peut produire jusqu'à une douzaine de plaquettes par heure, avec un temps de cycle de seulement 5 secondes par plaquette. La technologie de contrôle adaptatif du réacteur ajuste et optimise en permanence les paramètres du procédé, assurant ainsi des films cohérents et de haute qualité. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 offre un meilleur contrôle du processus avec son système de contrôle en ligne en boucle fermée. Ce système permet de détecter et de commenter en temps réel des paramètres clés du procédé, tels que la température, la pression, l'épaisseur du film et l'uniformité, ce qui permet de contrôler efficacement les processus de dépôt et de garantir la cohérence des couches. En outre, AMAT Endura 5500 offre une intégration complète avec d'autres équipements de traitement de semi-conducteurs et peut être connecté à des outils de processus nouvellement construits, ainsi que adapté aux outils existants. Le réacteur offre 0,1 ° de répétabilité dans les opérations de chauffage et de refroidissement, assurant des résultats reproductibles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 utilise un procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour déposer des couches sur des plaquettes avec une vitesse et des caractéristiques exceptionnelles. Ce procédé de VCD utilise des filaments de matériau contenant des métaux, qui sont chauffés puis vaporisés. Lorsque le matériau vaporisé atteint la plaquette, il est transformé en couche mince. Ce procédé de réalisation de couches élimine le besoin de masquage, permettant la réalisation de couches avec une grande vitesse et précision. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 peut généralement produire des couches de tungstène de faible résistivité, ainsi que des couches de tungstène de cuivre et d'aluminium avec des caractéristiques telles que une conductivité électrique et thermique élevée, et une faible résistivité. Cela rend le réacteur adapté à une grande variété de procédés semi-conducteurs, tels que les dispositifs à courant alternatif, les dispositifs MEM et divers types de LED et de produits optoélectroniques. AKT ENDURA 5500 est un réacteur de production avec un niveau de contrôle exemplaire sur les processus de dépôt, des résultats précis et cohérents, et l'intégration avec les équipements de traitement existants. C'est un outil indispensable pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.
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