Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9145241 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 9145241
Taille de la plaquette: 12"
Spares for PVD Chamber CPO- VMO, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur haute performance conçu pour des applications avancées de dépôt et de gravure. En particulier, l'AKT Endura 5500 permet à la fois des procédés de dépôt en couches minces et épaisses, ainsi que des procédés de gravure difficiles, dans les applications de dépôt et de gravure thermiques et plasmatiques. Le réacteur est conçu pour les étapes de processus CVD et PECVD pour des applications incluant le silicium, le nitrure de titane, l'arséniure de gallium, le tungstène et l'aluminium. Le réacteur AMAT ENDURA 5500 est un réacteur à cadre ouvert conçu pour les besoins avancés des procédés de dépôt et de gravure. Cette conception à cadre ouvert permet une plus grande accessibilité au fonctionnement intérieur du système, permettant une maintenance plus facile et une reconfiguration plus rapide du système. Son architecture flexible offre des capacités d'intégration de systèmes, avec une variété de systèmes de composants interchangeables qui peuvent être facilement interchangeables pour répondre à différents besoins. L'ENDURA 5500 possède plusieurs capacités thermiques, dont le RF, le plasma à couplage inductif Hélicon (ICP), le courant continu (DC) et les modes de polarisation à courant continu pulsé. Ses paramètres de processus réglables vont de la pression du processus, du temps de séjour de l'impulsion du gaz source, et de la puissance RF. Il dispose également d'un chariot breveté Z-axis, qui peut accueillir jusqu'à 12 plaquettes simultanément, permettant une uniformité accrue et un traitement plus efficace. Cette conception permet également d'isoler facilement les étapes de dépôt et de gravure. AMAT Endura 5500 s'est avéré être un systemboasting fiable d'une large gamme de fonctionnalités qui offrent aux utilisateurs le contrôle complet de leurs conditions de processus. Il dispose également d'une interface utilisateur intuitive qui fournit aux utilisateurs une surveillance des processus en temps réel, des capacités de tendance, et des analyses prédictives pour assurer l'optimisation des processus. Ces fonctionnalités donnent aux utilisateurs la flexibilité de composer leurs propres paramètres personnalisés et d'optimiser leurs performances de processus. Bien qu'il soit plus coûteux que des systèmes comparables, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 offre une réelle évolutivité et peut répondre à un large éventail de besoins, de la production à haut débit à des étapes de processus plus spécialisées, ce qui en fait une option attrayante dans laquelle de nombreuses organisations et universités axées sur les semi-conducteurs et les nanotechnologies choisissent d'investir.
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