Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9164914 à vendre en France
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ID: 9164914
Style Vintage: 1996
PVD System
Max system rating: 150KW
(2) Precision chamber
(2) Degases chamber
(2) Deposition chamber
Substrate size: 8"
Throughput: 35" Wafers / Hour
Thickness uniformity: ±2%
1996 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un équipement de manutention de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour un large éventail d'applications. Ce système est composé d'une chambre à vide, d'une unité de mélange de gaz haute pression, d'une machine de distribution robotique et d'un contrôleur. AKT Endura 5500 est principalement utilisé dans le dépôt et la gravure de matériaux à partir de composants semi-conducteurs, microélectroniques, MEM, énergie et optiques/photoniques. AMAT ENDURA 5500 utilise le procédé CVD pour déposer des films sur des substrats. CVD est un procédé qui utilise une réaction en phase gazeuse de vapeur de matériau avec un substrat pour produire un film déposé. Ce procédé est couramment utilisé pour créer des matériaux semi-conducteurs tels que des interconnexions métalliques, des couches barrières et des diélectriques de grille. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura 5500 peut déposer un large éventail de matériaux, notamment des oxydes, des nitrures, des carbures et des métaux. AMAT Endura 5500 utilise un outil de mélange de gaz haute pression à trois étages. Cet actif permet un contrôle précis des gaz de procédé utilisés dans le processus de dépôt. Au cours d'un processus de dépôt typique, le modèle de mélange est utilisé pour déplacer le gaz à la surface du substrat où la réaction de dépôt a lieu. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est équipé d'un équipement de distribution robotique pour déplacer et distribuer le matériau de procédé à la surface du substrat. Le bras robotique est utilisé pour positionner le matériau à des endroits précis pour une répartition uniforme. Endura 5500 comprend également plusieurs fonctionnalités qui permettent un fonctionnement sûr, telles que des capteurs de pression et une fonction d'arrêt de sécurité automatisé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est contrôlé par un contrôleur qui intègre tous les composants du système, permettant aux opérateurs de surveiller et de contrôler le processus. Le contrôleur est compatible avec les logiciels standard de l'industrie, tels que MATLAB et LabVIEW, pour permettre l'intégration de l'unité pour le contrôle et l'automatisation des processus avancés. Dans l'ensemble, AKT ENDURA 5500 est une machine CVD avancée qui est conçue pour une large gamme d'applications dans le dépôt et la gravure de matériaux. Cet outil est équipé de fonctionnalités qui permettent un contrôle précis du processus et assurent une opération sûre. En outre, ENDURA 5500 est compatible avec les logiciels standard de l'industrie pour l'intégration des actifs et l'automatisation des processus.
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