Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9182838 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 9182838
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Sputtering system, 6" Process: PVD (4) Chambers Load lock type: Narrow 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur multi-stations de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour la production de films semi-conducteurs uniformes. AKT Endura 5500 utilise des principes de conception avancés pour assurer l'uniformité et la reproductibilité des dépôts de films. Il utilise deux stations de traitement indépendantes, une pour le dépôt et une pour la gravure, permettant aux utilisateurs de traiter rapidement des plaquettes à plusieurs étapes dans un seul outil. Chaque station de traitement est composée d'une « enveloppe de chambre de traitement » et d'un ensemble de modules de traitement. L'enveloppe de la chambre de procédé est constituée de composants comprenant le collecteur de distribution de gaz, le tube de procédé et la chambre à vide. Ces composants contrôlent le débit et la pression du gaz, l'homogénéité et l'homogénéité du gaz, et la propreté du système. AMAT ENDURA 5500 utilise des tubes haute performance, des tourbillons, des pompes et des amortisseurs spécialement conçus pour assurer un dépôt uniforme des couches minces. Le système est conçu pour minimiser l'interaction chimique avec le matériau sublimant, absorbant et dissipant la chaleur générée par le processus dans la zone environnante. Il contribue également à réduire le risque de contamination par les particules. ENDURA 5500 est hautement personnalisable et offre une variété de fonctionnalités conçues pour permettre un contrôle précis de la température du substrat, des gaz de traitement et des niveaux de pression. Il comprend également une variété d'accessoires en option tels qu'un bloc chauffant à paroi chaude, un collecteur de distribution de gaz et une tête de douche de gravure pour optimiser le processus de dépôt pour des applications spécifiques. L'environnement à l'intérieur de la chambre est très contrôlé pendant le processus de dépôt, car tous les paramètres du processus sont précisément surveillés et contrôlés grâce au logiciel XRH de l'outil. Ceci permet de maintenir la qualité du film de manière cohérente et uniforme. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est conçu pour un entretien minimal et une longévité optimale. Il peut être entièrement entretenu sur place et peut être facilement mis à niveau. De plus, son homogénéité est très respectée dans l'industrie et elle offre un rendement élevé et un bon rapport coût-efficacité. C'est un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs et les installations de recherche qui nécessitent une technologie CVD fiable et avancée.
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