Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9193776 à vendre en France

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ID: 9193776
PVD Metal system Voltage: 480VAC, 30 Frequency: 60Hz Max system rating: 150KVA Ampere rating of largest load: 172-8A Interruot current: 10,000 AMPS Full load current: 172.8A Chamber 1: MoCr Chamber 2: AlCu Chamber 3: AlSi Chamber 4: AlNd Chamber D: IGZO.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un équipement de dépôt et de gravure SmartCluster pour le marché de l'interconnexion d'emballage avancée (API). AKT Endura 5500 est conçu pour offrir des performances, une qualité et des rendements de pointe dans une plate-forme rentable et rentable. AMAT ENDURA 5500 utilise des technologies de dépôt de matériaux sophistiquées telles que le dépôt de couche atomique (ALD), la gravure de couche atomique (ALE), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PE CVD) et la gravure de plasma (PE). Il supporte également plusieurs technologies de mémoire non volatile qui lui permettent de former des structures de niveau FinFET 3D. L'architecture intégrée SmartCluster fournit un système de gravure dédié pour chaque chambre afin de maximiser la flexibilité et de minimiser les temps de cycle de processus. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 dispose de la technologie Smart Modular Cassette (SMC) pour augmenter les débits et l'uniformité de débit. Les chambres modulaires sont construites avec des matériaux et des composants adaptés aux températures et pressions extrêmes, permettant l'utilisation de l'unité dans les processus à basse et haute température. AKT ENDURA 5500 peut être équipé d'une gamme d'équipements auxiliaires tels que des systèmes de dépôt de métaux, une gravure de couche atomique (ALE), un implanteur d'ions et un microscope électronique à balayage de dimensions critiques (CD-SEM). Ensemble, ces caractéristiques permettent à ENDURA 5500 de fournir des procédés de dépôt et de gravure de matériaux critiques. Endura 5500 offre une large gamme de capacités de processus grâce à ses chambres à double configuration indépendante. Il est capable de traiter des matériaux haut-k, tels que Ge, ainsi que des matériaux bas-k, tels que SiC et SiN. AMAT Endura 5500 supporte également des procédés de pellicule ultra-mince avec des épaisseurs allant jusqu'à 2 nanomètres. En plus de ses capacités de gravure et de dépôt, APPLIED MATERIALS Endura 5500 fournit également des méthodes avancées de contrôle des processus tels que le contrôle de la température des grappes, la cartographie de l'uniformité et le diagnostic des défaillances des grappes. La surveillance du processus de suivi visuel est activée par une machine de suivi intégrée basée sur le Web. L'outil complet de gestion des données matérielles permet un accès facile aux données et un accès global aux recettes de processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est l'outil parfait pour la fabrication d'interconnexions avancées et est idéal pour une gamme d'applications, y compris l'emballage 2.5/3D, MEMS/TSV, MEMS/non-mémoire, l'emballage ventilateur intégré et plus encore. Sa capacité à deux chambres, son architecture modulaire et ses capacités de processus flexibles permettent aux clients d'étalonner l'actif pour répondre à leurs besoins spécifiques en matière de processus.
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