Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9203801 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor est un réacteur de procédé de gravure et de dépôt de pointe utilisé dans les industries des semi-conducteurs et de la micro-électronique. Ce réacteur est conçu pour le plus haut niveau de stabilité afin de produire les meilleurs résultats de qualité dans l'industrie. Sa configuration de base comprend une chambre, un collecteur de gaz de pompage/procédé, une alimentation et un sous-système chargeur/déchargeur. Tous ces systèmes sont enfermés dans un boîtier robuste, ignifuge et atténué, permettant d'atteindre les normes de sécurité et les performances les plus élevées. La chambre présente une uniformité verticale et radiale induite par l'uniformité gaz/plasma, une distribution uniforme des gaz de procédé, une excellente propreté du réacteur et un accès optique supérieur. Il ne nécessite pas de source de plasma pour obtenir les performances les plus élevées, et il est suffisamment durable pour résister aux chocs thermiques. Le collecteur de gaz de pompage/procédé assure le contrôle et la pression des gaz de procédé d'entrée ainsi que le nettoyage et l'entretien des collecteurs. Il a un différentiel de pression d'au moins dix fois à travers la chambre pour la fonctionnalité du processus, ainsi qu'une répétabilité optimale. L'alimentation du réacteur peut générer du plasma couplé capacitivement de haute intensité (CCP) ou du plasma couplé inductif (ICP) pour la gravure. La puissance a six sorties indépendantes et est capable de fournir une densité d'énergie plasma élevée, une homogénéité et une répétabilité optimales, et des profils de gravure uniformes avec un nettoyage post-gravure. Le sous-système chargeur/déchargeur permet un traitement efficace des substrats et des plaquettes. Il dispose d'un chargeur/déchargeur passe unique, permettant de charger/décharger les plaquettes rapidement et efficacement. Le système offre également une manipulation précise des plaquettes et des substrats avec ses tolérances mécaniques serrées. Le réacteur AKT Endura 5500 est l'option idéale pour concevoir un procédé de dépôt ou de gravure propre, reproductible et uniforme. Il est capable de produire des procédés d'ultra-haute précision pour la plus haute qualité de résultats avec un minimum de déchets. Sa conception ultramoderne garantit une efficacité maximale des matériaux et une longévité des performances dans les industries des semi-conducteurs et de la micro-électronique.