Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9206635 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un graveur à ions réactif haute performance (RIE) conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Ce réacteur est spécialement conçu pour une très grande homogénéité dans les applications de traitement de surface, assurant un contrôle de profondeur uniforme et précis. L'AKT Endura 5500 comprend une armoire à gaz pour le stockage et la gestion de gaz multiples, une chambre de verrouillage de charge qui est utilisée pour le chargement rapide du substrat, la chambre de réaction où se produit la gravure, et enfin le collecteur d'échappement qui abaisse la pression dans la chambre avant que les gaz puissent être libérés. AMAT ENDURA 5500 utilise des sources d'énergie haute fréquence à double fréquence pour produire du plasma précis pour la gravure. Il dispose également d'une source de plasma avancée qui est conçue pour produire des profils de gravure plus uniformes et moins de contamination par les particules. La source de plasma très stable permet un contrôle précis des niveaux de concentration de dopage pour les générations de dispositifs modernes. De plus, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 permet aux utilisateurs de choisir plusieurs recettes de gravure pour différentes architectures d'empilage d'appareils. En combinant plusieurs recettes, les utilisateurs sont en mesure de se conformer à un large éventail de processus d'opéra. ENDURA 5500 est conçu avec la sécurité, la fiabilité et la productivité en tête. Un système de surveillance intégré détecte rapidement les conditions de processus anormales et arrête automatiquement le fonctionnement du réacteur. Pour assurer des opérations sûres et fiables, l'Endura utilise une technologie de ventilation avancée pour contrôler la pression de la chambre. Ce contrôle de pression est important pour assurer un contrôle précis de la profondeur de gravure lors de la gravure des dispositifs à haut rapport d'aspect. En outre, les matériaux appliqués ENDURA 5500 utilisent un système de pompe turbomoléculaire multi-étages pour maintenir une basse pression de base dans la chambre. Ceci assure un fond de particules faible tout en utilisant une large gamme de mélanges de gaz de gravure. Les particules de poussières sous-microns produites par le plasma sont également collectées à l'intérieur pour minimiser le risque de contamination à long terme. Enfin, Endura 5500 dispose d'un logiciel d'édition de recettes dédié qui permet aux utilisateurs de créer et de sauvegarder facilement leurs propres recettes. Cela permet aux utilisateurs d'établir rapidement des flux de traitement adaptés à leurs besoins spécifiques. En conclusion, AKT ENDURA 5500 est un graveur d'ions réactif, automatisé et avancé conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Sa source de plasma avancée fournit une très grande uniformité dans les applications de traitement de surface, tandis que sa turbomachine multi-étages garantit le fond de particules le plus bas possible. Enfin, avec le logiciel d'éditeur de recettes dédié, les utilisateurs peuvent facilement créer et enregistrer leurs propres recettes.