Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9217151 à vendre en France
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Vendu
ID: 9217151
System
(3) Process chambers
Preclean (CHC)
(2) Degas chambers
(4) Cryo pumps
Parts included:
Qty / Description
(2) / Degas lamps assy
(1) / Ion gauge pump supply
(1) / 24V Power supply
(1) / Relay control board
(2) / ISO / AMP Boards
(2) / 3 Phase cryo controllers
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur haute performance conçu pour traiter le traitement complexe des matériaux dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Le 5500 est un équipement de pointe, capable de réaliser une variété de procédés tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt de couche atomique (ALD) et la gravure à distance du plasma (RPE). Il assure un contrôle serré des procédés pour chaque application, avec une faible pression, des taux de dépôt élevés et une excellente uniformité. Le 5500 est conçu pour un rendement de production élevé et une rentabilité maximale. Il utilise le chauffage direct de la céramique et le contrôle actif du pas pour fournir un temps de chauffage rapide et une excellente répétabilité du processus. Il dispose également d'un système de refroidissement avancé, avec évacuation de chaleur optimisée de la chambre de réaction pour éviter des dommages thermiques au substrat. AKT Endura 5500 dispose également d'une unité de puissance RF intégrée pour les applications plasmatiques à couplage inductif. Cela permet un contrôle précis de la puissance plasmatique, permettant des processus de gravure avancés à des niveaux de puissance réduits et des taux de dépôt de dommages faibles. La 5500 est équipée d'une machine de manutention avancée, permettant un chargement et un déchargement rapides des substrats, des temps de cycle plus rapides et un meilleur débit. Il dispose également d'une gamme complète de capacités d'application, y compris la gravure, le dépôt et l'implantation. L'outil a des modèles pour chaque application, fournissant un traitement sûr et répétable avec peu d'intervention de l'opérateur requis. AMAT ENDURA 5500 est un outil puissant et fiable pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant aux utilisateurs un meilleur rendement et un meilleur rapport coût-efficacité. Il a une répétabilité de processus supérieure, un contrôle précis des paramètres plasmatiques, et une gamme de capacités d'application. Avec ses caractéristiques avancées et ses performances fiables, la 5500 est un choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs.
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