Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9221707 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un équipement de traitement plasma de grande surface conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce système peut être utilisé pour traiter une variété de plaquettes, y compris le silicium et le saphir, par gravure et dépôt de plasma. Il peut également être utilisé pour une large gamme d'autres fins telles que des couches barrières, des couches d'oxyde et des empilements de couches minces. AKT Endura 5500 est une unité autonome entièrement intégrée qui contient une chambre de processus, des armoires à gaz et des modules de contrôle de processus. Cela permet un contrôle indépendant de plusieurs fonctions, y compris la pression, le gaz et les réglages de puissance, ce qui permet d'adapter avec précision le processus à des applications spécifiques. La machine comprend également plusieurs matériaux de protection pour protéger les utilisateurs contre les tensions et les températures élevées présentes dans l'environnement de l'outil. L'actif est conçu pour contrôler la température, la puissance et le débit de gaz de la chambre de procédé à un degré élevé de précision. Les niveaux de puissance varient de 300W à 5000W, ce qui permet une large gamme de paramètres de processus. La température de la chambre est maintenue entre 1033 C et 1133C, tandis que la pression peut aller de 0,002 torr à 760 torr. De plus, le débit de la chambre peut varier de 0,18 litre/minute à 15 litres/minute. AMAT ENDURA 5500 fournit également une analyse in situ en temps réel avec son spectromètre de masse des particules ioniques et neutres (IPMS). Cela permet à l'opérateur de surveiller l'environnement plasmatique et permet un contrôle précis du processus. En outre, le modèle dispose d'un module de contrôle de processus amélioré qui fournit un meilleur diagnostic de l'équipement et l'optimisation des processus. En outre, AKT ENDURA 5500 offre des fonctionnalités de sécurité améliorées, y compris un système de détection des défauts et une enveloppe de protection pour contenir tout déversement. Cela garantit la sécurité du personnel et l'intégrité du processus. ENDURA 5500 est une unité de traitement thermique efficace conçue pour permettre un contrôle et une répétabilité précis des processus. C'est le choix idéal pour la fabrication et l'intégration de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il fournit une solution robuste et économique pour des procédés tels que la gravure et le dépôt de plaquettes de silicium. Avec son analyse in situ en temps réel et sa gamme de réglages, la machine est idéale pour une variété d'applications.