Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228344 à vendre en France
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Vendu
ID: 9228344
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
PVD System, 8"
Wafer shape: SNNF
Umbilical length: 25Ft
Front panel type: Painted
Light tower: R / Y / G
Buffer robot: HP + metal blade
Transfer robot: VHP with metal blade
Chamber F: Orienter / Degas
Chamber E: Orienter / Degas
Chamber C: Pre clean 2e
Chamber B: Cool down
Chamber A: Pass through
Chamber 1: Standard body AL4 finger
Chamber 2: SIP_TTN with bias ESC
Chamber 4: TN_Durasource_TTN A101
Includes:
Main body
Chiller
Rack 1
Rack 2
AC Power box 2
AC Power box 1
Cryo compressor / Totes
System power: Variable / 150 kVA
Transformer type: Variable / 150 kVA, 480V - 380V
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un outil semi-conducteur de traitement avancé conçu pour la gravure et le dépôt à haute productivité. L'équipement offre une grande reproductibilité, une grande uniformité et le taux de productivité le plus élevé de sa classe. L'outil dispose de deux chambres indépendantes, permettant des processus de gravure et de dépôt simultanés, ainsi que le fonctionnement à distance de la source de plasma pour offrir une plus grande flexibilité. Le logiciel intégré de surveillance des processus permet à l'opérateur de réguler les deux chambres simultanément, assurant des résultats cohérents. L'AKT Endura 5500 est équipé d'une architecture multicontroller de pointe qui intègre les multiples fonctions de gravure et de dépôt dans un seul système d'intégration. Les chambres d'échappement et de traitement ETCH&DEPOSITION (E&D) sont partagées, assurant des rendements élevés et une longue durée de vie des chambres. L'unité dispose également d'une capacité de régulation de température qui aide à maintenir des températures précises pendant les processus de gravure et de dépôt. AMAT ENDURA 5500 est construit avec un grand nombre de fonctionnalités spécialisées qui le rendent adapté à une variété d'applications. Il est équipé avec un AutoGas™ a automatisé la machine de livraison du gaz, en fournissant le contrôle de dilution incrémentiel et a réduit le travail manuel pendant le développement de processus. L'outil offre également un transfert de plaquettes basse pression qui a été optimisé pour minimiser le risque de génération de particules de plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est un excellent outil pour réaliser des couches ultra minces de matériaux avec des épaisseurs et des densités précises en raison de sa capacité de dépôt de puissance super haute densité. L'actif est également très efficace en termes d'utilisation du matériel, ce qui constitue un grand avantage pour les économies de coûts. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 a été utilisé pour graver et déposer avec succès des matériaux tels que du silicium polycristallin, de l'oxyde de silicium, de l'aluminium et du cuivre. Il offre aux utilisateurs une solution économique pour leurs exigences de production de semi-conducteurs, ainsi que des performances fiables. La fiabilité à long terme de l'outil et ses capacités de résolution de problèmes en font un excellent choix pour un travail axé sur la production.
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