Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9242650 à vendre en France
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ID: 9242650
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Sputtering system, 8"
Robot: HP (Buffer and transfer)
(3) Chambers
Load lock: Wide
Component included:
NESLAB Chiller
(2) CTI 9600 Compressor cryo
Pump: CTI OB 8F 3PH Enhanced
Chamber: PVD 4
Chamber E and F: Orient degass
1996 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur de pointe de type PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma). Ce réacteur est conçu pour déposer des matériaux de haute qualité sous forme de couches minces, ce qui le rend idéal pour des applications telles que les procédés semi-conducteurs et la fabrication de dispositifs de stockage. L'AKT Endura 5500 est doté d'un biais de substrat à double fréquence (RF) qui permet un contrôle précis du dépôt des matériaux diélectriques. Il est également équipé d'un puissant système de distribution de puissance RF dynamique qui fournit une réponse instantanée à l'évolution des conditions de processus, assurant des résultats de processus cohérents et reproductibles. AMAT ENDURA 5500 est conçu pour offrir un maximum de productivité, de répétabilité et de conformité. Il dispose d'une technologie brevetée Catalyst® qui supporte plusieurs sources RF avec une chambre secondaire optimisée pour améliorer l'uniformité, l'épaisseur et le contrôle de la composition. La chambre à plasma est conçue pour une dissipation de puissance extrêmement faible, lui permettant de fonctionner à des puissances de crête plus élevées tout en réduisant les possibilités d'excursions thermiques. De plus, le contrôle de polarisation du substrat permet une plus grande précision et précision lors du dépôt de films diélectriques. AKT ENDURA 5500 permet des taux de dépôt élevés avec une uniformité d'épaisseur de film supérieure sur plusieurs substrats. Il dispose d'un régulateur de pression de chambre numérique pour un contrôle précis de la température du substrat et du débit de gaz. Le système avancé de distribution de gaz assure des mélanges de gaz précis et une livraison correcte. Le thermocouple multi-points et le réseau de capteurs permettent une surveillance en temps réel de la température et de l'uniformité du substrat. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est conçu pour maximiser la latitude et le contrôle du processus. Ses ports d'entrée/sortie numériques offrent un contrôle et une surveillance en temps réel de tous les paramètres importants du processus. Il dispose d'un système d'auto-réglage pour un réglage facile et fiable des fréquences et de la phase de décalage RF, permettant une perfomance maximale tout au long du processus. ENDURA 5500 est spécialement conçu pour répondre aux exigences actuelles de fabrication de semi-conducteurs. Il fournit un dépôt de matériau de qualité supérieure grâce à un traitement reproductible et fiable pour une meilleure performance du dispositif. Le réacteur a été certifié conforme par AMAT/APPLIED MATERIALS à la directive SEMI C39 pour la conception et la fabrication standard d'équipements de fabrication de semi-conducteurs.
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