Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9257279 à vendre en France
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Vendu
ID: 9257279
Style Vintage: 1993
PVD System
Chambers:
(4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al)
(2) Degas chambers
(1) Preclean chamber
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS Valve 8112095
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
MKS Type 627 Pressure transducer
Endura Wafer lift assembly 101 Rev. 003 0010-70271
8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140)
Endura Wafer lift assembly preclean 2 Rev. 003, 21902-08
MKS Type 627 Pressure transducer
0010-20277
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
Gas Box #1 0010-20217 Rev. B
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
Loadlock A (11)
Loadlock B (0620-01049)
Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D
ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M
Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A
Gas Box #2 0010-20218 Rev. B
Gen Rack #1
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12-650
ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650
Gen Rack #2
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
Gen Rack #3
ADVANCED ENERGY LF10A
COMDEL RF Power Source CPS-1001S
GRANVILLE-PHILLIPS Ionization gauge supply 332102
15V PS Assembly
24V PS Assembly
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
Thornton 200CR
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001
NESLAB BOM # 327099991701
EBARA A30W
EBARA A70W
HARMONIC GEAR UGH50-28
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1
GEORG FISCHER V 82
Supply voltage: 480 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
Max system rating: 150 kW
Largest load ampere rating: 42 A
Interrupt current: 10,000 Amps IC
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un équipement de réacteur automatisé haut de gamme conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système fonctionne comme une plate-forme de production polyvalente, capable de gérer un large éventail de tâches de processus. Cela comprend le dépôt, la gravure, l'oxydation, l'hydrogénation et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le cadre principal de l'AKT Endura 5500 se compose d'une chambre de nettoyage intégrée, d'un module de gaz et d'une chambre d'échantillonnage à température contrôlée. La chambre de nettoyage est utilisée pour inactiver les parois de la chambre avant le début des autres procédés. Le module de gaz fournit une alimentation uniforme en hélium, azote, argon et oxygène. La température du porte-échantillon peut être régulée à des températures précises allant de 30 ° C à 400 ° C Dans l'ensemble, AMAT ENDURA 5500 est une unité avancée qui combine précision, répétabilité et fiabilité à partir d'une seule machine. Son Total Process Automation (TPA) permet aux opérateurs de surveiller, contrôler et documenter des processus complexes avec une solution unique. Cela se fait grâce à son interface utilisateur graphique (interface graphique) conviviale et à un outil de contrôle PID propriétaire. Le contrôleur de processus de l'actif offre un certain nombre de fonctions de contrôle de processus telles que la surveillance de processus en temps réel, la gestion des recettes et l'enregistrement intégré des données. En outre, le modèle est équipé de capacités d'automatisation des processus qui permettent l'optimisation des formules et le développement de nouveaux processus. ENDURA 5500 est construit avec un haut niveau de répétabilité qui est nécessaire pour produire des résultats de qualité supérieure. Les parois de la chambre ont été rendues plus résistantes à la contamination de sorte que les mêmes résultats peuvent être obtenus d'une session à l'autre. Endura 5500 est un équipement de réacteur haut de gamme fiable et optimisé pour la production de semi-conducteurs. Ses processus automatisés, ses fonctions de contrôle des processus et ses systèmes d'enregistrement des données en font un choix idéal pour répondre à des besoins industriels critiques. Avec sa combinaison de répétabilité, de fiabilité et d'optimisation des processus, APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 est un véritable bijou dans son domaine.
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