Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9274513 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur de gravure plasma à haut débit couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des procédés critiques tels que la gravure de substrat. Le 5500 est conçu pour fournir un contrôle de processus supérieur avec une excellente uniformité sur toute la zone du substrat. La conception robuste de ce réacteur permet l'utilisation de plusieurs chambres équipées d'une grande variété de gaz de procédé pour obtenir effectivement les résultats souhaités. Il est conçu pour fonctionner dans une gamme de pression allant jusqu'à 1 Torr (1,33 kPa) sans fuite et est équipé d'un équipement d'adaptation de la puissance de source avancée qui permet une adaptation plasma illimitée, assurant les niveaux d'uniformité les plus élevés sur la zone de gravure. AKT Endura 5500 est alimenté par son système de contrôle automatisé, maximisant le débit et la productivité sur les applications de gravure exigeantes. Les systèmes de surveillance et de contrôle du processus sont capables de contrôler divers paramètres du processus, y compris le débit de gaz, la pression, le débit, le dépôt dopant/source et la vitesse de gravure. De plus, son fonctionnement à basse pression minimise la production de particules, améliorant les rendements des procédés et l'uniformité des dispositifs. L'unité AKT Endura contient également une technologie avancée de co-pulvérisation et de lèvres de troisième génération qui fournissent un masquage de haute précision et un contrôle de la cible. Ceux-ci vous permettent de contrôler avec précision les profils des couches gravées sur tous les types de matériaux. Cela permet aux utilisateurs de contrôler avec précision les profils de gravure, en veillant à ce que les caractéristiques des plaquettes critiques soient uniformes et bien définies. AMAT ENDURA 5500 est conçu pour une grande fiabilité des processus, ce qui donne un avantage en moins de séances de maintenance, ce qui optimise la durée de vie de la production. Il est équipé d'une capacité de maintenance à distance, interconnectée, qui permet aux utilisateurs d'effectuer des tâches de maintenance ou de calibration sans interrompre le processus. En outre, la machine est conçue avec un outil d'imagerie mécanique et thermique qui aide à détecter les dommages cachés qui peuvent ne pas être visibles à l'œil nu, alertant l'opérateur en cas de risque de court-circuit électrique. En tant qu'outil de gravure avancé, l'ENDURA 5500 est conçu dans un souci de sécurité. Son modèle de sécurité à trois niveaux, certifié SEMI S2, élimine la nécessité d'un interrupteur d'arrêt d'urgence. De ce fait, le risque de pertes de charge dangereuses et incontrôlées est éliminé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement ENDURA 5500 d'AMAT fournit un outil puissant pour la fabrication de composants complexes qui nécessitent précision et haute qualité (gravure Ulta-High-K dans l'industrie des semi-conducteurs). Avec sa conception robuste, ses capacités supérieures de contrôle des processus et ses systèmes de sécurité, ce réacteur de gravure à plasma est un puissant atout de production qui vous aidera à obtenir des résultats de la plus haute qualité.