Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9363651 à vendre en France
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ID: 9363651
Taille de la plaquette: 6"
PVD System, 6"
Pump
Gen rack
AC rack
Chiller
Chambers:
(2) Ti Chamber
(2) Cu Chamber
(2) Degas chamber
PC Chamber
Durasource TTN
Chamber C: PC II
Chamber F (STD Degas): Clear wafers
Chamber E (STD Degas): Thin clear wafers
TGV
Direct gas injection
HP+ Buffer robot
Xfer has VHP
Vita system controller
EZ LCF On Xfer.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 est un réacteur avancé de nettoyage humide à semi-conducteur conçu pour répondre aux besoins des applications de semi-conducteurs les plus complexes et les plus difficiles. Ce réacteur innovant est conçu pour fournir un nettoyage humide rapide et efficace avec une finition de surface supérieure et un contrôle de processus supérieur. Il dispose d'un générateur de plasma avancé, d'une source lumineuse UV-VIS puissante et d'une chambre de réacteur compacte. AKT Endura 5500 est idéal pour le nettoyage en surface et en surface limitée des plaquettes et autres substrats. Il utilise un générateur de plasma breveté propriétaire pour créer une atmosphère finement ajustée pour une performance optimale de nettoyage humide. Le générateur contient tant des modules de production de plasma Ar/H2 que des modules de source de lumière UV-VIS qui peuvent être réglés de façon indépendante pour produire des combinaisons de plasma et claires précisément accordées. Ceci permet une configuration de nettoyage flexible sur une variété de substrats différents. La chambre de réaction d'AMAT ENDURA 5500 est conçue pour assurer une isolation maximale des gaz de procédé et des contaminants. Son équipement perfectionné de circulation d'air et son intégration serrée avec le générateur de plasma assurent un écoulement doux et uniforme de la solution de nettoyage même en présence de flux gazeux à haute pression. La chambre dispose également de filtres à haut rendement pour éliminer la contamination des particules du processus et des durées de vie plus longues de la chambre. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 est également conçu avec des dispositifs de confinement et de sécurité. Il est équipé d'un système de sécurité entièrement opérationnel et intégré qui comprend des modules de surveillance des processus, un contrôleur d'unité et une interface à écran tactile. Cela garantit que la machine fonctionne en toute sécurité et selon les procédures prescrites. MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA 5500 est un outil de nettoyage à l'eau fiable, efficace et économique, conçu pour répondre aux plus hautes attentes des clients de traitement des plaquettes. Il combine la technologie du plasma pur avec l'efficacité éprouvée du nettoyage humide pour fournir un contrôle de processus supérieur et la finition de surface. Avec ses technologies de pointe, il est idéal pour des applications de haute performance et de précision dans la fabrication de semi-conducteurs, et la recherche et le développement de fabrication de plaquettes.
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