Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293821498 à vendre en France
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ID: 293821498
Style Vintage: 2002
PVD System
(2) Chambers, Ti/TiN
(2) Chambers, Al
2002 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura CL est un réacteur à semi-conducteur fiable et économique pour de multiples procédés. Il a été conçu pour le traitement de plaquettes jusqu'à 300mm (12 pouces). Il utilise un procédé de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) pour déposer des couches minces de 10 à 400nm d'épaisseur. AMAT Endura CL est équipé d'un squelette volumétrique VTS (Volumetric Temperature Skeleton) constitué d'un bord plat renforcé d'oxyde d'aluminium. Il est conçu pour résister aux températures élevées et optimiser les performances thermiques. Le STM est capable de cycler rapidement en température, améliorant ainsi la qualité CVD et réduisant le gradient de niveau de film des différentes couches. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est spécialement conçu pour réduire l'impact environnemental du procédé. Il le fait en abaissant la consommation de gaz et en éliminant le besoin de gaz réactifs liquides (GRL). Son système de traitement des gaz assure la surveillance et la gestion précises du débit et de la pureté du gaz utilisé dans le processus de dépôt. Endura CL a été prototypé dans le domaine des plaquettes de silicium de fabrication de semi-conducteurs, où il s'est avéré être un outil fiable et précis dans la production de grands lots de plaquettes. Il a subi de nombreuses améliorations afin d'optimiser les performances, permettant le coût et l'efficacité temporelle de la production. En plus de sa production de gaz efficace, AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL est très facile à utiliser et à entretenir. Il est équipé d'un logiciel intuitif qui permet aux utilisateurs de configurer la configuration pour plusieurs opérations de processus rapidement et de manière cohérente. Il dispose également d'un système intelligent de contrôle des processus qui crée une rétroaction pour une surveillance précise des processus, réduisant ainsi les temps d'arrêt. En outre, AMAT Endura CL est construit avec des caractéristiques de sécurité avancées pour réduire l'exposition aux produits chimiques dangereux. Elle est conforme aux exigences de sécurité actuelles de la NFPA 70E et à la directive européenne ATEX 95 sur les substances dangereuses. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est conçu pour réduire les coûts tout en augmentant la productivité et la satisfaction des clients. Ses caractéristiques améliorées en font le réacteur idéal pour la fabrication de semi-conducteurs.
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