Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9247978 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est un réacteur à haut débit à grappes conçu pour des applications de gravure et de dépôt de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Le réacteur AMAT Endura CL peut traiter à la fois un rapport d'aspect élevé (HAR) et des structures complexes en une seule étape. Il est équipé d'un système de grappes intégré comprenant deux chambres de traitement, deux serrures de chargement, une chambre de prétraitement et une chambre de post-traitement. La première chambre de traitement de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est une chambre de gravure plasma haute densité. Il dispose d'un système plasma RF à quatre électrodes de 13,56 MHz compatible avec les produits chimiques à base d'hydrogène, de chlore et de fluor. La chambre dispose également d'une tête de diffusion pour la distribution du plasma, de régulateurs de débit massique (MFC) pour le contrôle du débit de gaz, et d'une turbo-pompe pour les gaz d'échappement. La deuxième chambre de traitement d'Endura CL est une chambre de dépôt à grande vitesse, conçue avec une source de bobine plane à double bobine. Cette technologie multi-chambres permet le traitement de petites structures à haut rapport d'aspect (HAR) ainsi que de structures complexes utilisant le même outil. La chambre dispose également d'alimentations RF et DC pour le contrôle des processus, d'une douche de diffusion pour l'uniformité et d'un épurateur intégré pour la surgravure. La chambre de pré-traitement est utilisée pour le pré-nettoyage des substrats avant le traitement et la chambre de post-traitement est utilisée pour protéger le dispositif de la contamination et éviter le dépôt de matériaux indésirables. La chambre de post-traitement est équipée de pompes à ions et d'un épurateur intégré pour la purge et le nettoyage après gravure. Les serrures d'AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL sont conçues avec un robot flex automatisé et assurent des opérations de chargement et de déchargement rapides et à faibles particules. Le robot est conforme aux ensembles d'outils pour assurer le bon fonctionnement et minimiser les particules. AMAT Endura CL est conçu pour une production à haut volume et est équipé d'un système de surveillance à distance 24 heures sur 24 pour permettre la maintenance et la surveillance en ligne. Le réacteur est idéal pour la fabrication de MEMS, de produits de circuits intégrés et de dispositifs à couches minces. Il s'agit d'un outil de gravure et de dépôt multi-chambres efficace qui permet de traiter un large éventail de substrats, de géométries, de matériaux et de procédés.