Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9275824 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9275824
Metal PVD system.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL (Cluster Reactor) est un outil de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement avancé des plaquettes. Avec sa conception brevetée, AMAT Endura CL fournit un traitement rapide, uniforme et fiable des plaquettes avec une faible génération de particules. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est capable de processus CVD thermiques et plasmatiques ainsi que de processus de gravure et de cendres. Cette flexibilité permet d'utiliser l'équipement pour plusieurs étapes de traitement des plaquettes. Le réacteur a une conception verticale à 7 chambres et est équipé d'un système automatisé de manutention des plaquettes. La chambre principale a une hauteur de 6 mètres et un diamètre de 1,2 mètres, ce qui la rend parfaite pour le traitement uniforme des grandes et petites plaquettes. La chambre peut accueillir jusqu'à 8 pouces de plaquettes avec une capacité maximale de 200 couches de plaquettes. La chambre est conçue pour le dépôt chimique conforme et est compatible à la fois avec la poudre et les précurseurs liquides. La conception de la chambre comprend une gamme d'inserts et de capots en quartz complexes pour éviter les rayures de plaquettes et la génération de particules. Endura CL est conçu pour fournir des vitesses de traitement rapides allant jusqu'à 500 wafers par heure et peut atteindre des niveaux de débit élevés avec une faible consommation d'énergie et aucun entretien coûteux. La chambre de procédé est entièrement scellée et pressurisée pour éviter la contamination et réduire au minimum la production de particules. Le réacteur dispose d'une unité réglable de régulation du débit de gaz et de la température qui permet aux utilisateurs d'ajuster les conditions du processus de dépôt. La machine est également équipée d'une source de plasma avancée et d'un contrôleur pour un contrôle précis des conditions de gravure assistée par plasma et des cendres. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura CL est construit selon les normes de qualité les plus exigeantes et garantit des performances de processus reproductibles. Il a été conçu pour répondre aux exigences des procédés de fabrication de plaquettes les plus avancés, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans des environnements de production. Il est équipé des dernières fonctionnalités de sécurité et des alarmes pour assurer un fonctionnement sûr et efficace sur une base continue.
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