Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9276760 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9276760
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
PVD System, 12" (3) Chambers Chamber 1: Ti Chamber 2: Al Chamber 3: AL 2003 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est un réacteur conçu pour permettre aux ingénieurs de procédé d'effectuer des dépôts chimiques en phase vapeur de tungstène (CVD) dans une variété d'applications de couches minces. Ce réacteur de nouvelle génération est adapté à l'industrie des semi-conducteurs et est capable de traiter du tungstène et d'autres couches métalliques pour le dépôt de dispositifs semi-conducteurs à couches minces. Le réacteur AMAT Endura CL offre une uniformité de tan à tan de haute précision et cohérente à un niveau avancé. Ce réacteur est conçu pour fournir des procédés CVD très fiables et reproductibles avec une faible variation de coin en fin de course. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement de contrôle intégré d'Endura CL offre un contrôle d'uniformité supérieur et un contrôle complet des processus au niveau des plaquettes. De plus, l'utilisation de capacités de filaments plus élevées et le contrôle de l'uniformité de haut en bas permet une récupération plus rapide de l'outil. De plus, le réacteur Endura CL possède des capacités avancées de chargement des plaquettes et de déchargement de plusieurs plaquettes, ce qui permet aux ingénieurs des procédés de maximiser le débit et de minimiser l'empreinte. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura CL est associé à la technologie d'automatisation la plus avancée, avec diverses options telles que le nettoyage automatique, l'échange automatique de plaquettes et la charge automatique de poudre. AMAT Endura CL offre également des améliorations telles que des épurateurs d'échappement à mi-parcours, un espace de travail accru et plus encore. Le système utilise également l'automatisation avancée pour le dépôt précis et le contrôle des procédés. Les caractéristiques comprennent une unité de régulation de température automatique intégrée qui garantit des performances précises et reproductibles ; une machine intégrée de contrôle du débit de gaz pour la livraison précise et répétable du gaz ; et un outil de contrôle des dépôts pour améliorer la précision et l'uniformité. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'actif Endura CL améliore la productivité et la fiabilité avec des caractéristiques de sécurité avancées. Le réacteur est équipé d'un interrupteur d'arrêt d'urgence, qui assure l'arrêt immédiat du modèle lorsque l'opérateur en a besoin. L'équipement dispose également d'une fonction d'arrêt automatique des gaz pour éviter les réglages manuels des soupapes de gaz pendant le fonctionnement. Le réacteur Endura CL est un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui exigent des processus CVD de tungstène de haute précision et cohérents et recherchent un débit et un rapport coût-efficacité accrus. Le réacteur comprend une gamme de caractéristiques conçues pour permettre des performances fiables et répétables avec un temps d'arrêt minimal, tout en continuant à traiter les plaquettes avec une grande uniformité.
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