Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281524 à vendre en France
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AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur Endura CL est un outil de cluster très avancé spécialement conçu pour la fabrication avancée de dispositifs microélectroniques. Ce réacteur utilise un système de grappes évolutives, offrant aux clients une flexibilité et une évolutivité pour une performance accrue du dispositif. AMAT Endura CL Reactor utilise une série de grandes caractéristiques telles que la technologie de la chambre sous-stride (SSC), qui permet de réduire drastiquement les erreurs de chargement des plaquettes par rapport aux plaquettes. Cette technologie repose sur l'utilisation d'un procédé de remplissage des chambres à faible coût, faible entretien et faible capacité statique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura CL utilise également la fonction de dépôt programmé (PD). Cette caractéristique assure un dépôt uniforme de couches spécifiques et permet à la fois un dépôt monocouche et un dépôt numérisé allant jusqu'à quatre couches. Cela permet des dépôts plus rapides et plus précis. Le réacteur Endura CL offre également une technologie unique d'isolation des bords du plasma (PEI) pour améliorer les performances des appareils. Cette fonctionnalité permet de minimiser les fuites du dispositif, augmente les taux de gravure et rend un dépôt plus lisse. En outre, ce réacteur est équipé de capacités avancées d'endpointage in situ (EP) et de détection de qualité de film (FQS) pour des résultats optimaux de gravure et de dépouille en temps réel. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura CL est également conçu pour l'uniformité des procédés de pointe et le contrôle robuste des procédés. Pour ce faire, on utilise un dispositif de chauffage à quatre zones dynamique et imbriqué ainsi qu'une détection in situ, ce qui permet un contrôle précis de la dose et de la température. AMAT Endura CL Reactor est également construit avec un système de manutention de plaquettes leader dans l'industrie pour supporter un débit élevé, un accès rapide, une faible contamination et un entretien facile. Le réacteur est conçu pour offrir un temps de refroidissement et de réchauffement rapide, permettant un passage rapide du substrat et un excellent débit de tranche à tranche. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura CL offre des performances et une efficacité énergétique optimales pour une fabrication microélectronique avancée. Les caractéristiques intégrées de ce réacteur combinées avec des capacités de contrôle de processus de haut niveau permettent la fabrication la plus fiable et la plus efficace de micropuces de niveau submicronique et d'autres structures de dispositifs complexes.
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