Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9313580 à vendre en France

Le réacteur AMAT Endura Cluster (CL) est une chambre de procédé monobloc, à haute température et sous vide. Cet outil à plasma inductif innovant stabilisé par condensateur est conçu pour répondre aux besoins de fabrication les plus difficiles, offrant une grande uniformité de processus, productivité et fiabilité. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura CL utilise une géométrie verticale pour s'assurer que la plaquette cible est exposée à des conditions plasmatiques uniformes sur toute la zone, ce qui permet de contrôler très étroitement les paramètres du processus sur une grande zone de plaquette. L'environnement à vide élevé du réacteur Endura Cluster est crucial pour obtenir des résultats de processus reproductibles et garantir une durée de vie maximale des composants. La basse pression réduit la diffusion des éléments dans le système, permet un chauffage et un refroidissement plus rapides du substrat et absorbe les particules indésirables dans le processus. La plage de pression et de température variable permet une variété de processus différents, y compris gravure, dépôt, bande, ALD, et CVD. AMAT Endura CL utilise une source de plasma brevetée à couplage inductif, lui conférant une homogénéité et une stabilité supérieures. La configuration en grappes de la conception de l'électrode conduit à un courant plasma homogène, de sorte que la vitesse de gravure ou de dépôt est même sur toute la tranche. L'alimentation stabilisée par condensateur assure l'uniformité du niveau de courant sur l'ensemble du processus, ce qui donne des performances répétables et d'excellents rendements. En ce qui concerne le contrôle des processus, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL offre une répétabilité exceptionnelle et une grande précision. Le système avancé de contrôle de la rétroaction distribuée du système garantit que les paramètres de la recette sont suivis avec une grande précision, ce qui donne des résultats de fabrication précis et reproductibles à chaque fois. Le contrôle de précision est encore amélioré avec la technologie d'inclinaison du suscepteur pré-balayé, qui minimise l'arc de la plaquette et maximise la couverture du substrat, conduisant finalement à un traitement plus uniforme. Endura CL est le premier choix pour une variété de besoins de fabrication avancés. Sa plate-forme intelligente et fiable en fait le réacteur aller-retour pour de nombreuses applications exigeantes. Les processus fiables, reproductibles et uniformes fournis par AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL se combinent à ses systèmes intelligents pour en faire un outil essentiel dans tout environnement de production de pointe.