Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390614 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura CL est un appareil de gravure à plasma dont la source de plasma à couplage inductif (PIC) est améliorée magnétiquement. Ce système haute performance et haut débit est conçu pour la gravure de matériaux très variés, dont le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium, le phosphure d'indium et le cuivre. AMAT Endura CL utilise une combinaison unique de sources de résonance cyclotron à couplage inductif (ICP) et d'électrons pour augmenter le taux de gravure, une excellente sélectivité et des profils de gravure de haute qualité. Les composants logés, y compris la chambre de gravure, la source de plasma et les alimentations électriques, ont été conçus avec précision et précision pour assurer une surface de gravure propre et peu défectueuse. AMAT CL obtient des débits élevés avec une large gamme de paramètres de gravure pour le réglage fin. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura CL est équipé d'une chambre de gravure de quatre pouces et d'une unité de levage autotrode pour un contrôle précis du diamètre et la plus grande sélectivité possible. La source ICP d'Endura CL est composée d'un générateur RF externe, d'un générateur de champ magnétique et d'une source hyperfréquence. La source du PIC produit un panache avec une forte concentration d'ions et de radicaux qui pénètrent la pièce plus rapidement pour améliorer les taux de gravure. La source unique de résonance cyclotron électronique permet une température de substrat plus basse pendant la gravure, réduisant les dommages induits par le plasma et permettant des débits plus élevés et des propriétés optiques améliorées. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura CL offre également un profil de gravure très uniforme et une excellente sélectivité de gravure, en particulier pour les structures multicouches. Sa plaque bidimensionnelle est conçue pour réduire la variation des parois latérales, permettant des structures de rapport de haute précision et d'aspect élevé. Une machine à haute stabilité assure la précision des paramètres de gravure pendant le processus de gravure. AMAT Endura CL est un outil idéal pour une grande variété d'applications de gravure, telles que la formation de trous profonds dans des substrats de silicium, les gravures à haut rapport d'aspect pour des applications MEMS/NEMS, et la micromachinage précis de matériaux durs tels que le germanium, le quartz et l'aluminium. La fonction de haute sélectivité basée sur Amino réduit la contamination dans la structure gravée, ce qui la rend adaptée aux applications sensibles de la structure des appareils. Avec toutes les caractéristiques de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL, c'est un outil idéal pour les processus de gravure haute performance et à haut débit.