Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390615 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est un réacteur pour le dépôt de matériaux. Il est conçu pour être utilisé dans les systèmes de dépôt à base de silicium, tels que CVD, PECVD et ALD. AMAT Endura CL fonctionne via un modèle de cylindre en céramique à paroi verticale. Cette conception permet une uniformité supérieure sur la surface de la plaquette, une amélioration de la capacité de nettoyage en place (CIP) et une exploitation durable à long terme. Le réacteur se compose de plusieurs composants, tels que le chauffage, les gaz sources, la tête de douche, le biais HF/RF, le filament, l'anode, la grille et la chicane. L'élément chauffant résistif au centre des matériaux appliqués Endura CL est constitué de filaments de molybdène (ou tungstène). Cet élément est alimenté jusqu'à 3,25 kW de puissance continue, et est capable de températures jusqu'à 925 ° C Le réchauffeur est capable d'un large éventail de procédés, y compris la croissance épitaxiale, le dépôt de film et le recuit thermique. Les gaz sources sont alimentés en Endura CL par un collecteur de gaz relié au sommet du réacteur. Les deux gaz les plus couramment utilisés sont le silane (SiH4) et le diborane (B2H6). Jusqu'à quatre gaz peuvent être utilisés dans le processus. Le débit et la pression de la chambre sont soigneusement surveillés afin d'assurer des conditions de dépôt optimales. La tête de douche au sommet du réacteur est conçue pour répartir uniformément le gaz dans la chambre de réaction. Le biais HF/RF, le filament et l'anode se combinent pour fournir un potentiel électrique pour graver la surface de la plaquette. La grille et la chicane sont utilisées pour contenir le plasma généré. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura CL est largement utilisé dans le processus de fabrication de plaquettes de silicium, du dépôt en couches minces au recuit thermique. La combinaison d'un chauffage robuste et de gaz de source fait d'AMAT Endura CL un réacteur fiable et efficace pour une production à haut volume. Il est capable de déposer des films avec une excellente qualité, une meilleure uniformité, et un débit plus élevé que les autres réacteurs disponibles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura CL est le choix idéal pour une production efficace à long terme.