Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #9085295 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura HP est un outil utilisé pour assurer une fabrication fiable de plaquettes pour de nombreux appareils microélectroniques avancés. Il s'agit d'une architecture qui se compose de deux caractéristiques : une chambre de gravure/cendres et une chambre de dépôt, qui utilisent toutes deux une source de plasma intégrée avancée et la conception de la chambre. La source de plasma aide à produire des gaz réactifs tels que les fluorocarbones, l'hydrogène et l'azote qui réagissent ensuite avec un matériau semi-conducteur et provoquent une réaction chimique. Cela conduit finalement à un processus de dépôt et de gravure efficace. La conception de la chambre d'AMAT Endura HP comprend une bobine assistée magnétiquement qui permet une uniformité constante, répétable et même plasma dans toute la chambre du réacteur. Il a également une capacité de verrouillage de charge qui permet à l'utilisateur de charger et décharger des plaquettes sans les exposer à l'environnement extérieur du réacteur. Cette fonctionnalité permet de maintenir la stabilité et la répétabilité du processus de fabrication en plusieurs lots. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre de gravure/cendres d'Endura HP peut être utilisée pour graver et passiver divers matériaux tels que le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium. Le substrat peut également être soumis à diverses températures, pressions et autres paramètres pour améliorer la qualité du procédé. La chambre de dépôt peut être utilisée pour déposer des matériaux tels que des métaux ou des diélectriques et est conçue pour répondre à une grande précision et répétabilité de processus. La technologie de contrôle de processus de ce réacteur est basée sur un logiciel de système de contrôle avancé qui peut contrôler des paramètres tels que la température, la pression et la tension, et assurer des résultats reproductibles et optimaux pour plusieurs lots. Cela inclut les fonctions de verrouillage de charge et de synchronisation pour augmenter encore la fiabilité du processus. Le réacteur Endura HP est également compatible avec plusieurs gaz dangereux et permet un accès à distance aux utilisateurs pour la surveillance et la maintenance des procédés. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP peut également être utilisé dans une large gamme de recettes allant des basses températures aux températures plus élevées. La chambre du four peut fonctionner de 30 à 500 ° C et est équipée de plusieurs composants pour assurer une répartition uniforme de la température et un contrôle approprié. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT Endura HP est un choix idéal pour de nombreuses applications de fabrication de microélectronique en raison de sa conception polyvalente et de sa technologie avancée de contrôle des processus. Il fournit des processus de fabrication de plaquettes fiables et reproductibles ainsi qu'une fiabilité à long terme et des performances améliorées.