Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II PreClean XT Turbo #9150312 à vendre en France

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ID: 9150312
Taille de la plaquette: 12"
Chambers, 12" Process: Pre-clean.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura II PreClean XT Turbo est un réacteur à température contrôlée conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un réacteur robuste et multifonctionnel capable de réaliser des processus à haute température tels que l'oxydation thermique, le traitement thermique rapide, la gravure ionique réactive et la bande de résine photosensible. Sa conception en granulé de quartz à double paroi assure un contrôle uniforme de la température dans toute la chambre de procédé et maintient un gradient de température bas. Le réacteur turbo AMAT Endura II PreClean XT est équipé d'une vanne à oxygène pour ajuster la concentration d'oxygène, permettant un contrôle précis des conditions du procédé. Le débit est réglable en continu afin d'assurer un mélange air/oxygène optimal pour le procédé. Le procédé PreClean à basse température réduit la contamination potentielle et l'accumulation de particules dans la chambre de réaction, contribuant ainsi à minimiser les temps d'arrêt et d'entretien. La chambre de processus est conçue pour offrir une excellente protection contre les dégazages, ainsi qu'une meilleure répétabilité des processus et un traitement cohérent des plaquettes. Il minimise également la contamination par les particules et les ions métalliques grâce à son système de filtration avancé, qui non seulement élimine les particules et les impuretés, mais contribue également à réduire la contamination par les ions métalliques. Le réacteur dispose également d'un contrôleur avancé qui offre l'enregistrement des données, le traitement des recettes, le profilage des processus et le diagnostic des défauts. La convivialité du réacteur PreClean XT Turbo d'Endura II PreClean permet aux opérateurs de profiter de tous les avantages qu'il offre. Il s'agit d'un système automatisé qui fonctionne via une interface utilisateur graphique, et est équipé d'un progiciel qui permet de créer et de stocker facilement des recettes. Il est également conçu pour accueillir une large gamme de tailles de plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre. Dans l'ensemble, l'Endura II PreClean XT Turbo est un réacteur robuste et fiable qui offre des performances supérieures pour les procédés à haute température. Ses caractéristiques avancées garantissent la répétabilité, l'uniformité et la précision, minimisent les temps d'arrêt et d'entretien et aident à réduire la contamination par les particules et les ions métalliques dans la chambre. Sa conception conviviale le rend idéal pour tout processus de fabrication de semi-conducteurs.
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