Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587288 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un tube entièrement automatisé, vertical, gravure monobloc/réacteur propre conçu pour la gravure de précision et le nettoyage des plaquettes semi-conductrices. L'équipement est conçu pour la production de circuits intégrés semi-conducteurs modernes et d'autres composants connexes. L'AKT Endura II se compose d'un module de commande centralisé et d'un certain nombre de composants auxiliaires tels qu'une boîte à gaz, un collecteur, un module de transfert et une soufflante d'échappement. Le système est capable de traiter différents types de matériaux de substrat, tels que le silicium, le verre, le métal et le plastique. Il est équipé de systèmes embarqués de contrôle des processus, de surveillance et d'acquisition de données. Le réacteur présente une conception de tube vertical, permettant le traitement de la pièce dans une orientation verticale afin de minimiser la charge gravitationnelle. L'unité utilise une conception de chambre de traitement à ciel ouvert, avec une boîte à gaz, un collecteur et un module de transfert situés à l'extérieur de la chambre de traitement. Cette conception garantit une flexibilité pour différents mélanges de gaz afin d'optimiser les paramètres de gravure pour différentes applications. La machine peut traiter des plaquettes planes et non planaires avec des résultats de gravure uniformes. L'outil supporte l'utilisation d'une large gamme de gaz et de produits chimiques, y compris le SF6 (hexafluorure de soufre), le CF4 (tétrafluorométhane) et le Cl2 (chlore). L'actif dispose également d'un modèle de transfert centralisé automatisé des plaquettes, garantissant la répétabilité et la cohérence de la manipulation des plaquettes, et minimisant les risques de contamination. Il dispose d'un ventilateur d'échappement intégré pour maintenir des pressions de processus constantes, des volumes d'alimentation, et pour éliminer les particules en suspension dans l'air. L'équipement de contrôle thermique intégré assure une température uniforme des plaquettes, et optimisée pour différents paramètres de gravure des plaquettes. Le système intégré de suivi des processus et d'acquisition de données enregistre en permanence les résultats des gravures et des processus propres, ce qui permet d'optimiser en temps réel les processus de gravure et de nettoyage pour maintenir des rendements élevés. L'unité est capable de loger un certain nombre de composants périphériques optionnels, tels que des instruments de rinçage, et des capteurs de débit massique et de pression. AMAT Endura II est conçu pour une gravure à semi-conducteur souple et précise et des applications propres, ce qui en fait une option idéale pour la production d'IC à semi-conducteur modernes et d'autres composants connexes. La combinaison de la conception de tubes verticaux, de l'outil de transfert centralisé automatisé, de l'acquisition de données en temps réel et du moniteur de processus en font un outil efficace et fiable pour les besoins de gravure et de propreté des fabricants de semi-conducteurs.