Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587508 à vendre en France
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Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un système de dépôt chimique en phase vapeur de pointe qui fournit une plate-forme puissante et précise pour la réalisation d'un large éventail de réactions et de processus chimiques. Ce réacteur est un moyen peu coûteux et non thermique d'introduire et de contrôler des espèces gazeuses dans un environnement chimique. Il présente des caractéristiques avancées telles que le dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt diélectrique en couche mince, la gravure en couche mince et la gravure chimique en phase gazeuse. Le réacteur AKT Endura II utilise une variété d'espèces chimiques qui sont injectées dans la chambre de réaction, en association avec les précurseurs gazeux pour former des films minces ou des motifs de gravure. Un générateur hyperfréquence est utilisé pour générer du plasma dans le réacteur à basse pression, facilitant les réactions chimiques. Dans le cas du dépôt en couches minces, les réactifs sont typiquement des polymères ou du silane (SiH4). Le substrat est placé au centre du réacteur et les espèces réactives sont injectées dans la chambre à partir de sorties situées le long du périmètre du réacteur. Le substrat est alors exposé à l'énergie thermique et chimique afin de favoriser le dépôt de couches minces. Pour la gravure chimique, on utilise dans le procédé divers agents de gravure tels que les hydrofluorocarbures (HFC), les perfluorocarbures (PFC) et les plasmas à base de fluor. Les gravures peuvent être combinées pour obtenir une plus grande profondeur de gravure. Le plasma est généré par un champ magnétique, généré par la variation du courant électrique dans la bobine. On obtient ainsi un plasma qui accélère la gravure chimique du substrat. Le réacteur AMAT Endura II est équipé de capteurs multiples qui permettent un contrôle précis des conditions réactionnelles et des paramètres du processus. Ces capteurs sont utilisés pour mesurer l'écart anode-cathode, la température du réchauffeur, la vitesse de dépôt, le niveau de gaz, la pression et la température du gaz de procédé, ainsi que pour pouvoir détecter et alerter en cas d'anomalie. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura II est une solution très précise et économique pour les ingénieurs de procédé. Il permet de préparer rapidement et avec précision les conditions de dépôt et de gravure des couches minces, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans un large éventail d'industries. Le système est flexible et polyvalent, permettant des films de haute qualité pour des applications allant des cellules solaires aux écrans plats.
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